[发明专利]一种柔性器件剥离设备有效
申请号: | 201310556960.1 | 申请日: | 2013-11-11 |
公开(公告)号: | CN103560101A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 谢春燕;王小虎 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 器件 剥离 设备 | ||
技术领域
本发明涉及柔性显示技术领域,特别涉及一种柔性器件剥离设备。
背景技术
柔性器件具有轻、薄、可挠曲、耐冲击等优点。
目前,制备柔性器件的技术中,主要是将柔性基板装配在玻璃基板等载板上,然后在柔性基板上制备显示器元件,然后再将柔性基板与载板分离,进而得到柔性器件。
在柔性器件制备过程中,如何将柔性基板与载板分离是柔性显示技术领域中制备柔性器件的关键技术。
现有技术中,在分离柔性基板和载板时,可以在使用玻璃刀对载板进行切割之后再采用机械剥离将柔性基板自载板上取下,但是,采用机械剥离时,无论采用真空吸附或是黏胶面粘贴的方式对柔性基板与载板进行分离时,在机械设备与柔性基板的接触面上都会形成一个锐利的角,进而在柔性器件内产生线性应力集中的现象,极易对柔性器件造成损坏。
发明内容
本发明提供了一种柔性器件剥离设备,该柔性器件剥离设备将柔性器件自载板上剥离下来时对柔性器件造成的损伤较小。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种柔性器件剥离设备,包括:
机架;
安装于所述机架的载台;
位于所述载台承载面上方、且通过枢转轴安装于所述机架的衔取装置,所述枢转轴与所述载台的承载面平行,且所述衔取装置可相对于所述载台沿垂直于所述枢转轴的旋转轴线、平行于所述载台的承载面的方向位移,所述衔取装置朝向所述载台的一面为以所述枢转轴的旋转轴线为中心轴线的弧面,所述衔取装置上具有紧固所述柔性器件的一个侧边的固定机构;
安装于所述机架、可相对于所述载台沿垂直于所述枢转轴的旋转轴线、平行于所述载台的承载面的方向位移的辅助装置,在所述衔取装置自载板上衔取所述柔性器件时,所述辅助装置的端头在所述柔性器件的柔性基板与载板的连接处为所述柔性基板提供脱离所述载板的力;
安装于所述机架、动作时实现所述衔取装置相对于所述载台位移的第一驱动装置。
使用上述柔性器件剥离设备对柔性器件与载板剥离时,将承载有柔性器件的载板固定在载台的承载面上,然后通过衔取装置具有的固定机构将柔性器件的一个侧边紧固在衔取装置上,然后控制第一驱动装置动作,进而驱动衔取装置相对于载台沿垂直于枢转轴的旋转轴线、且平行于载台的承载面的方向位移,同时衔取装置绕枢转轴的旋转轴线旋转;由于衔取装置朝向载台的一面为以枢转轴的旋转轴线为中心轴线的弧面,衔取装置绕枢转轴的旋转轴线旋转时衔取装置与载台的承载面之间的间距不变,此时,辅助装置的端头位于柔性器件已经翘起的一侧,在柔性器件的柔性基板与载板的连接处为柔性器件的柔性基板提供脱离载板的力;因此,柔性器件自载板上剥离时由衔取装置和辅助装置共同施力,能够减轻衔取装置对柔性器件造成的应力集中现象,进而减小对柔性器件造成的损伤。
因此,本发明提供的柔性器件剥离设备将柔性器件自载板上剥离下来时对柔性器件造成的损伤较小。
优选地,所述机架包括:
本体,所述载台固定于所述本体;
固定于所述本体的支架;
与所述支架滑动装配的滑块;
所述衔取装置通过枢转轴枢装于所述滑块,且所述辅助装置安装于所述滑块;所述第一驱动装置安装于所述支架。
优选地,所述滑块与所述支架之间通过至少一对滑动配合的滑槽与滑轨滑动配合。
优选地,所述机架包括:
本体,所述载台滑动装配于所述机架本体,所述第一驱动装置安装于所述本体,驱动所述载台相对所述机架的本体滑动;
固定于所述本体的第一支架,所述衔取装置通过枢转轴枢接于所述第一支架;
固定于所述本体的第二支架,所述辅助装置安装于所述第二支架。
优选地,所述第一驱动装置包括丝杠传动装置。
优选地,所述衔取装置为滚轴,所述滚轴的中心轴线与所述枢转轴的中心轴线重合。
优选地,所述固定机构为吸口位于所述衔取装置朝向所述载台一面的真空吸附装置。
优选地,所述固定机构为设置于所述衔取装置朝向所述载台一面的黏胶条。
优选地,所述辅助装置的端头为气刀装置,所述气刀装置的喷气口朝向所述柔性基板与所述载板的连接处。
优选地,所述辅助装置的端头为柔性切片,所述柔性切片的外端与所述柔性基板与所述载板的连接处相抵,所述柔性切片的外端具有楔形结构。
优选地,还包括:驱动所述衔取装置绕所述枢转轴旋转的第二驱动装置。
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