[发明专利]一种双腔并联锥形管无阀压电泵

权利要求书

1.一种双腔并联锥形管无阀压电泵，泵盖（3）、泵体（6）和泵座（10）由上至下通过键合或黏结剂结合，两个压电振子（1、4）固定在泵盖（3）上，泵盖（3）上设有左右两个泵腔上半部分（2、5），其特征是：泵体（6）上设左右两个泵腔下半部分（11、7）、四个相同结构尺寸的锥管（12、15、18、20）、出口腔（14）、前后两个进口腔上半部分（19、16）和对冲腔（17）以及出口管（13）的上半部分；第一、第二锥管（12、15）的大端连通出口腔（14），第一锥管（12）的小端连通左泵腔下半部分（11）且第一锥管（12）的中心线经过左泵腔下半部分（11）的中心；第二锥管（15）的小端连通右泵腔下半部分（7）且第二锥管（15）的中心线经过右泵腔下半部分（7）的中心；第三、第四锥管（18、20）的小端均连通对冲腔（17），第三锥管（18）的大端连通右泵腔下半部分（7），第四锥管（20）的大端连通左泵腔下半部分（11），两个泵腔下半部分（7、11）和第三、第四锥管（18、20）的中心线共线。

2.根据权利要求1所述一种双腔并联锥形管无阀压电泵，其特征是：四个所述锥管（12、15、18、20）最小截面处宽度a为50μm至300μm、长度为a的10倍至20倍、锥角θ为5°至15°。

3.根据权利要求2所述一种双腔并联锥形管无阀压电泵，其特征是：对冲腔（17）的左右宽度b为a的3倍至10倍，对冲腔（17）的前后长度c为宽度b的4倍至8倍，两个泵腔下半部分（7、11）、四个锥管、对冲腔（17）、出口腔（14）的深度为a的1倍至2倍。