[发明专利]一种用于压力测量的真空计校准方法及其装置

权利要求书

1.一种用于压力测量的真空计校准方法，其特征在于，该方法主要包括数据输入、自校准数据生成、现场校准及数据修正；

所述数据输入：若干系列校准点的标准值和被测值的输入为，标准值预先被确定并输入，被测值实时触发输入；被测值在实时校准中，等待压力达到某一校准点的标准值再给触发输入动作，则该标准值对应的被测值相应输入；

所述自校准数据生成：校准检定过程中直接输入数据后，形成原始数据，根据输入的原始数据用插值法制表和曲线拟合；

所述现场校准：依标准值确定触发，并记录和保存此刻来自于规管测量电压信号，以标准值作为函数值，电压作为插值节点值；由此多点重复操作，得到一系列的函数值和节点值，再应用插值法构造整个测量范围的函数表，必要时求拟合公式 P= f (v)；

所述数据修正：在测量状态下，依规管的实时数据经过查表或公式计算作出校准修正，并转换为真空值显示。

2.真空计自校准装置，其特征在于，包括热导式规管、规管工作与检测电路、多通道模数转换电路、数据输入及处理电路，所述热导式规管的电信号经规管工作与检测电路中的规管加热测量电路输出，再由数据输入及处理电路中的放大电路和模拟多路开关匹配传输至模数转换器(ADC)转换成数字信号，该数字信号经微控制器处理后传至显示器显示或传至存储器保存。

3.根据权利要求2所述的真空计自校准装置，其特征在于，所述存储器中存放有预定标准压力数据、被测数据、表格及拟合公式。

4.根据权利要求2所述的真空计自校准装置，其特征在于，所述规管加热及测量电路包括电桥电路、差分放大器和调整管。

5.根据权利要求2所述的真空计自校准装置，其特征在于，还包括实现校准时数据输入操作的显示器和硬件组合键即调零键、选择键、输入键，以及用于显示多点校准值的带触摸键的智能显示屏。