[发明专利]可变温度幕状显影装置

权利要求书

1.一种可变温度幕状显影装置，其特征在于：包括幕状喷嘴(1)、半导体温控模块(2)、循环水散热片(3)、温度传感器及温控器，其中半导体温控模块(2)设置于幕状喷嘴(1)的外侧、并与设置于幕状喷嘴(1)外部的温控器连接，所述循环水散热片(3)设置于半导体温控模块(2)上，所述温度传感器设置于幕状喷嘴(1)的内部、并与温控器连接。

2.按权利要求1所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述幕状喷嘴(1)包括喷嘴本体(101)和喷嘴盖(102)，其中喷嘴盖(102)设置于喷嘴本体(101)的上方，所述喷嘴本体(101)和喷嘴盖(102)之间设有形成幕状喷洒的断面结构和喷嘴口(4)，所述喷嘴口(4)与断面结构连通，所述喷嘴盖(102)上设有与所述断面结构连通的进水接头(7)。

3.按权利要求2所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述断面结构包括水槽和溢流部分(107)，其中水槽设置于喷嘴本体(101)的上表面上、并与喷嘴盖(102)上的进水接头(7)连通，所述喷嘴本体(101)的上表面一侧设有一斜坡，该斜坡与所述喷嘴盖(102)之间留有缝隙，形成所述溢流部分(107)，所述溢流部分(107)的两端分别与水槽和所述喷嘴口(4)连通。

4.按权利要求3所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述水槽内设有隔水挡板(103)，所述隔水挡板(103)将水槽分割成两个腔室，其中与喷嘴盖(102)上的进水接头(7)连通的腔室为进水缓冲部分(105)，另一个腔室为蓄水部分(106)，所述隔水挡板(103)的底部设有将进水缓冲部分(105)和蓄水部分(106)连通的导通结构。

5.按权利要求3或4所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述水槽为U型槽。

6.按权利要求2或3所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述喷嘴口(4)为直线微口。

7.按权利要求6所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述喷嘴口(4)所喷出的显影液的有效喷洒宽度为大于或等于晶圆的直径，显影喷嘴的行走路径为幕状水幕与晶圆边缘切线的垂直方向扫描行进，扫描范围为大于晶圆的直径。

8.按权利要求1所述的可变温度幕状显影装置，其特征在于：所述循环水散热片(3)的进水口(5)和出水口(6)设置于循环水散热片(3)的同一侧。