[发明专利]一种炉管设备的组批派工系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种炉管设备的组批派工系统和方法。

背景技术

在半导体生产制造过程中，对炉管设备的组批派工一直是个难题。由于炉管设备作业时间长，可多批次制品（lot）同时作业，所以使得操作者在作业时难以兼顾效率和优先级。若按照业界的自动派货规则，这需要大量的循环运算和逻辑判断。

中国专利（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该发明根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。

中国专利（公开号：CN1763666）公开了一种自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，具体涉及一种计算机可实现的自动派工方法，其适用于以载具进行馈入的批次制程设备中。该发明所提的方法及系统首先将载具的目前占有率与最佳占有率进行比较，当载具的目前占有率小于最佳占有率时，保留载具所载物件的分配信息，并将载具中的物件进行结合。然后，由批次制程设备处理已结合的物件。于处理完成后，根据所保留的分配信息将物件分配于载具中。该发明所述的自动派工方法及系统以及以此方法制造的集成电路产品，有效地解决批次制程设备因载具占有率不足所导致的效能问题。

由上述两个专利可知，现有的自动派工方法需要大量的循环运算和逻辑判断，操作人员在制品列表中寻找、判断制品时很容易存在疏失，从而导致急需作业的制品被耽搁，降低了炉管设备的生产效率。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种炉管设备的组批派工系统和方法，使得炉管设备的组批派工无需大量的循环运算和逻辑判断，减少人为判断的疏失，提高了炉管设备的生产效率。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种炉管设备的组批派工方法，其中，采用如下步骤：

步骤S1，设置权重分配规则；

步骤S2，采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；

步骤S3，根据所述权重分配规则和所述作业信息分配所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品权重；

步骤S4，根据所述作业信息计算程序系数，然后根据所述制品数量信息、所述制品权重和所述程序系数计算所述等待作业的所有组批制品的组批分数；

步骤S5，对所述等待作业的所有组批制品按照所述组批分数从高到低进行组批排序，根据所述组批排序进行组批派工。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S1中，所述权重分配规则为根据组批制品中每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级以及许容时间分配不同制品权重的规则。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，所述炉管作业的步骤为将组批制品中每个批次的制品到炉管作业的过程分为十个步骤，其中，第十个步骤为当前炉管作业步骤，设置第十个步骤的步骤权重为100%，从第十个步骤到第一个步骤的步骤权重依次递减10%。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S2中，所述作业信息包括所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间，以及所述等待作业的所有组批制品中的每个批次制品处于炉管作业的步骤、优先级等级和许容时间；在所述步骤S3中，所述制品权重包括根据所述权重分配规则和所述作业信息分配的步骤权重、等级权重和许容时间权重。

上述的炉管设备的组批派工方法，其中，在所述步骤S4中，所述程序系数为通过所述作业信息中的所述等待作业的所有组批制品对应的炉管设备的不同程序作业时间分别除以炉管设备的所有程序平均作业时间得到的不同的数值；

所述组批分数的计算方法为：

组批分数=（Σ等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量*步骤权重*等级权重*许容时间权重）/程序系数。

一种炉管设备的组批派工系统，其中，包括：

设置装置，用于设置权重分配规则；

采集装置，用于采集等待作业的所有组批制品中的每个批次制品的制品数量信息和作业信息；