[发明专利]漏液侦测装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造的技术领域，尤其涉及一种漏液侦测装置。

背景技术

目前，为了方便传输，工厂中由厂务端向设备端供应的中转箱会有几个管道通向机台端，中转箱中的管道有时会发生化学药液泄漏，而化学药液通常具有腐蚀性，泄漏现象有时由于未能及时被发现并处理，可能导致大面积的泄漏，有时甚至会造成设备的损害，造成较大损失。为了解决这一问题，采用在中转箱底部开孔并于开孔处加装一条底部密封的管路，在管路外部安装传感器，形成漏液侦测装置来侦测中转箱内部的漏液情况，发生液体泄漏时，有时会由于漏液进入管路时形成气封现象导致管路下端没有液体，致使传感器没有感应到管路内部的变化，报警系统没有触发，从而由于漏液侦测不及时导致大面积漏液现象的发生，进而导致设备损坏等较为严重的后果。

中国专利（公开号：CN202074239U）公开了一种管路漏液侦测装置，其用以侦测管路的漏液，且包括套管、反射镜、感湿薄膜、光源及光侦测器。套管环绕管路，套管的下部与管路密合，且位于下部上方的套管与管路之间形成盛液空间。反射镜设置于套管的外壁上。感湿薄膜覆盖反射镜，其中感湿薄膜在干燥时具有第一光穿透率，且与漏液接触后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感湿薄膜。光侦测器用以接收来自反射镜的反射光。

中国专利（公开号：CN1595131A）公开了一种漏液检测装置至少包括：一电压供应电路、一漏液检出电路、一滤波电路、一漏液比较电路、一参考电压源以及一漏液信号输出电路；其根据漏液传感器感测到的液体阻抗的不同，使漏液检出电路中的运算放大器产生不同的电压输出，且将该输出电压与一参考电压源进行比较，作为漏液传感器是否与液体接触的判定依据，进而提供晶体管一正偏电压或负偏电压，使漏液信号输出电路中的共射极NPN晶体管导通或不导通，推动继电器产生开或关的信号，令可编程逻辑运算控制器电路产生控制信号，该发明的漏液检测装置可感测高阻抗液体的同时，还具有较长的检测距离，该发明还可检测到漏液传感器是否发生断路或短路现象。

上述两件专利均公开了漏液侦测装置，但其采用的技术方案以及与本发明所采用的技术方案并不相同。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种漏液侦测装置，以克服现有技术中漏液进入管路时形成气封现象，导致管路下方没有液体，从而无法有效侦测到中转箱是否有漏液的问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种漏液侦测装置，应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测，包括：

一中转箱，所述中转箱套设于所述管道外，且所述中转箱的底部设有开孔；

设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管，所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口；以及，

设置于所述套管外部的传感器。

上述的漏液侦测装置，其中，所述管路和所述支管均为直管。

上述的漏液侦测装置，其中，所述支管与所述管路采用支架连接。

上述的漏液侦测装置，其中，所述中转箱底部的开孔设有多个，每个开孔均连通一个套管，每个套管外部均设置一个传感器。

上述的漏液侦测装置，其中，所述支管底部与所述管路底部不接触。

上述的漏液侦测装置，其中，所述支管的中心线和所述管路的中心线重合。

上述的漏液侦测装置，其中，所述支管的中心线和所述管路的中心线不重合。

上述的漏液侦测装置，其中，所述传感器为电容传感器。

上述的漏液侦测装置，其中，所述传感器设有报警装置。

上述的漏液侦测装置，其中，所述套管采用防酸碱材质。

上述发明具有如下优点或者有益效果：

本发明采用在中转箱底部的管路中设置一个起导气功能的支管，从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象，导致管路下方没有液体，从而无法有效侦测到中转箱中是否有漏液的问题。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明漏液侦测装置实施例一中套管的俯视图；

图2是本发明漏液侦测装置实施例一中套管的剖面结构示意图；

图3是本发明漏液侦测装置实施例一的剖面结构示意图；

图4是本发明漏液侦测装置实施例二中套管的俯视图；