[发明专利]一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法

权利要求书

1.一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

(1)制备纳米压印用的金属Ni模板

a)在(100)硅片上用EBL制备纳米孔阵硅模板A；

b)利用电子束蒸镀设备在硅模板A上沉积10nm厚的金属Ni；

c)将步骤b)制备的硅模板A在Ni的电镀液中电镀金属Ni层至所需厚度，然后将电镀的金属Ni层与硅模板A分离，得到金属Ni点阵模板B，其周期与硅模板A相同，但是其结构与硅模板A相反；

(2)利用(1)中制备的金属Ni模板进行热压印以及电子束蒸镀、举离工艺

a)在蓝宝石衬底上旋涂特定厚度的热压印胶，利用(1)中得到的金属Ni点阵模板B进行热压印；

b)利用热压印得到的热压胶结构，在O₂等离子体中刻蚀至蓝宝石衬底露出；

c)利用电子束蒸镀在刻蚀完的蓝宝石衬底表面沉积一层金属，再举离得到表面具有金属点阵掩膜结构的蓝宝石衬底；

(3)利用(2)中得到的金属点阵掩膜层进行蓝宝石衬底的刻蚀

将(2)中得到的蓝宝石衬底在ICP中用Cl₂和BCl₃进行刻蚀，将残余金属点阵掩膜层洗去，得到纳米图案化的蓝宝石衬底。

2.根据权利要求1所述的一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述（1）步骤c)中，电镀金属Ni层的厚度为100-300微米。