[发明专利]光学位置测量装置

权利要求书

1.一种光学位置测量装置，具有：

-第一整体量具(10)，所述第一整体量具具有第一测量分度(11；111)，所述第一整体量具可移动地沿第一测量方向(x)布置，其中，所述第一整体量具(10)在沿所述第一测量方向(x)的至少一个定义的位置处具有空间上受限的第一标记(15；150)，所述第一标记与所述第一测量分度(11；111)不同，以及

-第二整体量具(20)，所述第二整体量具具有第二测量分度(21)，所述第二整体量具可移动地沿第二测量方向布置，其中，所述第二整体量具(20)在至少一个位置处具有第二参考标记(25)，所述第二参考标记只在所述第一整体量具(10)位于沿所述第一测量方向(x)的那个由所述第一标记(15；150)预定的定义的所述位置时才能用于在所述第二整体量具(20)的参考位置处产生至少一个第二参考信号。

2.根据权利要求1所述的光学位置测量装置，其中

-所述第一整体量具(10)包括作为所述第一测量分度(11；111)的线性格栅，所述线性格栅具有周期性地沿线性的所述第一测量方向(x)布置的分度区域(11.1，11.2)，并且

-所述第二整体量具(20)包括作为所述第二测量分度(21)的圆环形格栅，所述圆环形格栅具有周期性地沿圆周方向布置的分度区域(21.1，21.2)并且能围绕旋转轴线(R)旋转地布置，使得所述第二测量方向沿圆周延伸。

3.根据权利要求1所述的光学位置测量装置，其中

-所述第一整体量具包括作为所述第一测量分度的线性格栅，所述线性格栅具有周期性地沿线性的所述第一测量方向布置的所述分度区域，并且

-所述第二整体量具包括作为所述第二测量分度的另一个线性格栅，该另一个线性格栅包括周期性地沿线性的所述第二测量方向布置的所述分度区域，其中，所述第二测量方向垂直于所述第一测量方向取向。

4.根据权利要求1所述的光学位置测量装置，其中

-所述第一测量分度(11；111)设计为入射光相阵，所述入射光相阵具有周期性布置的、具有不同相位差的分度区域(11.1，11.2)，并且

-所述第二整体量具(20)包括作为第二测量分度(21)的至少一个透射光格栅和反射器(21.3)，并且其中所述透射光格栅和所述反射器(21.3)沿所述第二测量方向延伸。

5.根据权利要求4所述的光学位置测量装置，其中，所述透射光格栅设计为组合的径向圆周格栅，所述径向圆周格栅具有周期性布置的、具有不同衍射特性的分度区域(21.1，21.2)。

6.根据权利要求1所述的光学位置测量装置，其中，所述第一标记(15；150)这样设计，即通过所述第一标记在沿所述第一测量方向(x)的至少一个定义的位置处产生对所探测信号的信号干扰并得出用于选择性地激活所述第二参考标记(25)的开关功能。

7.根据权利要求6所述的光学位置测量装置，其中，所述第一标记(15；150)包括至少一个第一子标记和第二子标记。

8.根据权利要求7所述的光学位置测量装置，其中，所述第一子标记(15.2a，15.2b；151，152，153)或者

-包括至少一个吸收区域，所述吸收区域集成地布置在所述第一测量分度(111)中并且只是少量地反射或不反射入射在所述吸收区域上的子射线束，或者

-包括至少一个线状结构，所述线状结构集成地布置在所述第一测量分度(11)中，并且所述线状结构具有线性格栅，所述线性格栅的分度区域相对于所述第一测量分度(11)的分度区域(11.1，11.2)扭转地布置。

9.根据权利要求7所述的光学位置测量装置，其中，所述第二子标记(15.1；154)包括至少一个线状结构，所述线状结构集成地布置在所述第一测量分度(11；111)中，并且所述线状结构具有线性格栅，所述线性格栅的分度区域相对于所述第一测量分度(11；111)的分度区域(11.1，11.2)扭转地布置。

10.根据权利要求6所述的光学位置测量装置，其中，所述第一标记(15；150)布置在所述第一测量分度(11；111)的纵向端部处。

11.根据权利要求7所述的光学位置测量装置，其中所述第一子标记和所述第二子标记分别具有小于子射线束的直径的伸展，所述子射线束扫描所述第一子标记和所述第二子标记。