[发明专利]一种增强散热功能的AAQFN封装件及其制作工艺在审
申请号: | 201310543777.8 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN103745957A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 马晓波;朱文辉;王希有;谢天宇;王虎 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/498;H01L23/367;H01L21/50 |
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地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 增强 散热 功能 aaqfn 封装 及其 制作 工艺 | ||
1.一种增强散热功能的AAQFN封装件,其特征在于:主要由基板(1)、芯片(2)、键合线(3)、塑封体(4)和植球(5)组成;所述基板(1)上是芯片(2),键合线(3)连接了基板(1)和芯片(2),塑封体(4)包围了基板(1)、芯片(2)和键合线(3),基板(1)下有植球(5),基板(1)、芯片(2)、键合线(3)和植球(5)构成了电路的电源和信号通道;所述植球(5)在基板(1)下按照阵列式无缝分布,填充了基板(1)下部的全部面。
2.一种增强散热功能的AAQFN封装件的制作工艺,其特征在于:具体按照以下步骤进行:
(1)晶圆减薄、上芯:晶圆减薄到AAQFN封装的常用厚度后,用粘片胶贴到基板上;
(2)压焊、塑封、切割同AAQFN产品常规工序;
(3)植球:通过常规植球工艺植金属球、锡球或者铜球,采用阵列式无缝分布;
(4)检验,包装,入库同AAQFN常规工艺。
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