[发明专利]填料式氯硅烷冷凝储存设备

权利要求书

1.一种填料式氯硅烷冷凝储存设备，用于对多晶硅生产中的含氯硅烷的尾气中的氯硅烷进行回收，其特征在于，所述填料式氯硅烷冷凝储存设备包括：

冷凝器，所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口，顶部具有不凝性气体出口；

储存罐，所述储存罐设在所述冷凝器下方且与所述冷凝器连通，所述储存罐的中部具有用于通入所述尾气的热媒入口，底部具有冷凝液出口，所述储存罐的下部具有氮气接口，所述氮气接口位于所述冷凝液出口上方；以及

填料式塔板，所述填料式塔板设在所述储存罐内且位于所述热媒入口的上方。

2.根据权利要求1所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述填料式塔板的外径小于所述储存罐的内径，且所述填料式塔板通过螺钉固定在所述储存罐内。

3.根据权利要求1所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述冷凝器的外径与所述储存罐的外径大致相等。

4.根据权利要求3所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述冷凝器的顶部敞开，所述填料式氯硅烷冷凝储存设备还包括上部封头，所述上部封头设在所述冷凝器的顶部，其中所述不凝性气体出口形成在所述上部封头上。

5.根据权利要求4所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述冷凝器与所述上部封头通过第一法兰连接；

所述冷凝器与所述储存罐通过第二法兰连接。

6.根据权利要求1所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，还包括：

氮气管，所述氮气管与所述氮气接口相连。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，还包括用于控制所述尾气的回收储存的控制系统，所述控制系统分别与所述冷凝器、所述储存罐相连，所述控制系统包括控制器。

8.根据权利要求7所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述储存罐上具有上压力接口和下压力接口，在所述储存罐的轴向方向上所述上压力接口和下压力接口分别位于所述填料式塔板的上方和下方；

所述控制系统还包括与所述控制器相连的上压力表和下压力表，所述上压力表与所述上压力接口相连，且所述下压力表与所述下压力接口相连；

设在所述不凝性气体出口处的调节阀，所述调节阀分别与所述上压力表和所述控制器相连以由所述储存罐内的压力控制所述调节阀的开度。

9.根据权利要求8所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述控制系统还包括：

与所述控制器相连的液位计，所述液位计设在所述储存罐上的上端接口和下端接口之间；以及

切断阀，所述切断阀设在所述冷凝液出口处且分别与所述液位计和所述控制器相连。

10.根据权利要求9所述的填料式氯硅烷冷凝储存设备，其特征在于，所述控制系统还包括：

连接至所述储存罐的温度计；和

冷媒流量阀，所述冷媒流量阀连接至所述冷媒入口处，所述冷媒流量阀分别与所述温度计和所述控制器相连以由所述储存罐内存储的氯硅烷冷凝液的温度控制所述冷媒流量阀的开度。