[发明专利]圆筒形掩模板的涂布装置和涂布方法

权利要求书

1.一种圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，包括：

基台；

位移控制平台，位于基台上，所述位移控制平台在基台上沿扫描方向往返直线移动；

压印模板，位于所述位移控制平台上；所述压印模板的上表面开设有凹槽；在所述凹槽内，设有图案印章；

光刻胶喷头，位于压印模板上方，用于向凹槽内喷吐光刻胶；

掩模板承载台，固定于所述基台上，用于装载圆筒形掩模板，并控制所述圆筒形掩模板绕中心轴旋转；所述圆筒形掩模板的表面贴合压印模板的上表面。

2.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述圆筒形掩模板的中心轴的轴向垂直于所述扫描方向。

3.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述图案印章的上表面与所述压印模板的上表面齐平。

4.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述压印模板的上表面、凹槽的侧壁和底部表面，以及图案印章的侧壁和上表面为亲水表面，所述圆筒形掩模板表面为斥水表面。

5.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述压印模板和图案印章的材料为石英。

6.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述凹槽的延伸方向与所述扫描方向一致，且所述凹槽上垂直于所述扫描方向上的宽度小于所述圆筒形掩模板沿中心轴向的宽度。

7.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，在所述压印模板上，位于所述凹槽的两侧开设有刻槽，所述刻槽的一端与凹槽相通，另一端贯穿压印模板的端面。

8.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述圆筒形掩模板为中空的圆柱；所述中空的圆柱表面包括沿所述圆筒形掩模板的中心轴轴向，位于中间部分的图像区域和位于图像区域的两侧的非图像区域；压印模板的凹槽上垂直于所述扫描方向上的宽度等于图像区域沿所述圆筒形掩模板轴向的宽度，当圆筒形掩模板表面贴合压印模板的上表面时，所述图像区域的位置与压印模板的凹槽的位置相对应。

9.如权利要求1所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述掩模板承载台包括第一驱动单元，用于驱动所述圆筒形掩模板绕中心轴旋转。

10.如权利要求9所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述掩模板承载台包括第二驱动单元，用于调节所述圆筒形掩模板的高度，使得所述圆筒形掩模板的图像区域贴合压印模板的上表面或者远离压印模板的上表面。

11.如权利要求10所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述基台包括减震平台和水平调节平台，所述水平调节平台位于减震平台上，位移控制平台位于水平调节平台上。

12.如权利要求11所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述水平调节平台和位移控制平台通过直线导轨连接，直线导轨的排布方向与扫描方向平行。

13.如权利要求12所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述位移控制平台包括第三驱动单元，用于驱动所述位移控制平台在水平调节平台上沿扫描方向直线往返移动。

14.如权利要求13所述的圆筒形掩模板的涂布装置，其特征在于，所述位移控制平台包括：相互平行的上平板和下平板、以及位于上平板和下平板之间且连接上平板和下平板相邻的两个端部的连接板；所述上平板和下平板与所述水平调节平台平行，压印模板位于位移控制平台的上平板的上表面，水平调节平台位于位移控制平台的下平板下方。