[发明专利]一种用于制造特殊气瓶内派瑞林覆层的方法和装置

权利要求书

1. 一种用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：将制备派瑞林覆层的材料经过蒸发、裂解，然后使其通过导气管，直接传送到气瓶内部，在气瓶内表面沉积，形成派瑞林覆层。

2. 根据权利要求1所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的方法，其特征在于，所述制备派瑞林覆层的材料为对二甲苯环二体或其卤代衍生物或烷基衍生物。

3. 根据权利要求2所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的方法，其特征在于，所述制备派瑞林覆层的材料为对二甲苯环二体或二卤代对二甲苯环二体或二烷基对二甲苯环二体。

4. 根据权利要求1~3任一所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的方法，其特征在于，所述覆层制备过程均在真空条件下进行。

5. 一种用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，所述装置包括蒸发室、裂解室、导气管、沉积室、冷阱、真空系统。

6. 根据权利要求5所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，所述导气管伸入到气瓶内部，导气管壁上分布有导气孔。

7. 根据权利要求6所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，所述导气管为圆筒形，长度0.2米-0.8米，直径3毫米-10毫米；材质为不锈钢。

8. 根据权利要求6或7所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，根据一次性制备覆层的气瓶数量，所述导气管可以经由气体分配头组合成单管、双管或多管的形式。

9. 根据权利要求5所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，所述特殊气瓶放置在沉积室内，根据气瓶大小和一次性制备覆层的气瓶数量确定沉积室的大小。

10. 根据权利要求9所述的用于特殊气瓶内制造派瑞林覆层的装置，其特征在于，所述沉积室长1-1.5米，宽1-4米，高1-1.5米，材质为碳钢或不锈钢，可放置特殊气瓶1-4个。