[发明专利]切削装置的卡盘工作台

权利要求书

1.一种切削装置的卡盘工作台，当通过具有切削刀具的切削构件来从圆板形状的被加工物的正面切削除去上述被加工物的外周缘时，从该被加工物的背面侧抽吸保持上述被加工物，

上述切削装置的卡盘工作台的特征在于，其具有：

环状保持部，其通过环状的保持面来抽吸保持上述被加工物的外周部；

修整板保持部，其与上述环状保持部呈同心状地配置在上述环状保持部的内周侧，并通过保持面来抽吸保持修整板；以及

基座部，上述环状保持部和上述修整板保持部分别立起设置于该基座部，

上述修整板保持部以及上述环状保持部具有：在各自的保持面开口的抽吸口；和一端与上述抽吸口连通并且另一端与抽吸源连接的抽吸路，

在上述环状保持部和上述修整板保持部之间形成有排水槽，

在上述排水槽的槽底配设有贯穿到上述基座部的外部的排出口，

流入到上述排水槽的修整加工液被从上述排出口排出。

2.根据权利要求1所述的切削装置的卡盘工作台，其特征在于，

上述修整板保持部的上述保持面形成于上述环状保持部的上述保持面以下的高度。