[发明专利]大功率耦合腔行波管的复合腔片的焊接方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子管器件的大功率耦合腔行波管配件的制备方法，具体涉及一种大功率耦合腔行波管的复合腔片的焊接方法。

背景技术

耦合腔行波管是目前最主要的大功率微波放大器件，在雷达、通讯、电子对抗研究方面，得到了广泛的应用。其中耦合腔行波管中使用的关键部件—复合腔片，即在纯铁腔片表面覆一层无氧铜，这是利用了铜优异的导热性能，使管内散热良好。常见的覆铜工艺有蒸发镀膜、溅射镀膜、电镀等，由于这三种方法属于薄膜工艺，不能满足散热要求。

现有技术中复合腔片采用的焊接方法是氢炉钎焊，将腔环（无氧铜）与腔片（纯铁）焊接。这种方法的缺点主要有四点：

1）由于采用焊料，焊料流散至慢波电路中，易造成高频反射增大，会使慢波线的特性（如驻波比）发生严重改变，造成耦合腔行波管输出功率下降，严重时，甚至会造成高频振荡。尤其随着耦合腔行波管朝着大功率的方向发展，现有的常规焊接方法已不能满足耦合腔行波管的需求；

2）采用焊料钎焊的方法，则需在零件留出焊料槽，用于放置焊料，在实际焊接过程中，焊料往往难以填满焊料槽及零件间隙，在管体内部产生“死空间”现象。

“死空间”的气体不能通过真空除气和排气工序去除，这部分气体会在行波管使用的过程中，缓慢地通过渗透等方式进入管内，从而使管内真空度下降，严重时，行波管将不能正常工作；

3）有时会出现焊料堆积的现象，还需进行二次加工；

4）复合腔片采用氢炉钎焊，焊料难以填满焊料槽及零件间隙，后道工序在电镀后，往往间隙处有残余溶液，镀层烧结后，零件表面出现污染现象，需进行多次返工，生产效率极低。

因此，为了提高大功率耦合腔行波管的工作性能，很有必要在现有技术的基础之上设计研发一种焊接精度高、变形小，可操作性强，生产效率高的大功率耦合腔行波管的复合腔片的焊接方法。

发明内容

发明目的：本发明的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种操作性强，工艺设计合理，能有效降低高频反射，保持慢波线稳定，并且焊接接头质量好，强度高，焊接精度高的大功率耦合腔行波管的复合腔片的焊接方法。

技术方案：为了实现以上目的，本发明采取的技术方案如下：

一种大功率耦合腔行波管的复合腔片的焊接方法，它包括以下步骤：

a、 纯铁大腔片的清洗：

具体步骤为：取纯铁腔片先用三氯乙烯浸泡20~60分钟，然后取出放入超声仪在碱洗溶液中超声清洗30~60分钟，用自来水冲洗干净后取出用50~60％浓度的盐酸浸泡0.5～5分钟，冲洗干净后浸入乙醇脱水，再进行烘干处理，实现纯铁腔片清洗；

 b、无氧铜腔环的清洗： 

具体步骤为：取无氧铜腔环放入超声仪在碱洗溶液中超声清洗30~60分钟，然后取出采用硝酸抛光液进行抛光处理，然后再用50~60%浓度的盐酸浸泡10~30秒，冲洗干净后浸入乙醇脱水，再进行烘干处理，实现无氧铜腔环的清洗；

c、零件装配：利用模具将无氧铜腔环装配在纯铁大腔片上，得到复合腔片的待焊接件；

 d、真空扩散焊接：

取步骤c装配得到的复合腔片放入真空扩散炉内，对真空扩散炉进行抽真空，当真空扩散炉内真空度≤1×10^-4Pa，开始升温，升温程序如表1所示，升温过程中，保持真空扩散炉内的真空度在1×10^-3Pa以下：

表1升温程序表