[发明专利]液体喷射头以及液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及喷出液滴并记录于被记录介质的液体喷射头以及使用了该液体喷射头的液体喷射装置。

背景技术

近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液体。在喷出液体时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。

图8是专利文献1所记载的液体喷射头101的截面示意图。图8(a)是用于使液体产生压力波的槽105的长度方向的截面示意图，图8(b)是与槽105正交的方向的截面示意图。液体喷射头101具有包括以下部分的层叠构造：由压电体构成的压电板104、粘接于其一侧表面的盖板108、粘接在盖板108上的流路部件111、和粘接在压电板104的另一侧表面的喷嘴板102。在压电板104中，构成槽105的深槽105a与浅槽105b交替地并列而形成，深槽105a从压电板104的一侧表面贯通至另一侧表面，浅槽105b在一侧表面开口，另一侧留有压电体材料。在深槽105a与浅槽105b之间形成侧壁106a～106c。在深槽105a的侧面形成驱动用电极116a、116c，在浅槽105b的侧面形成116b、116d。

在盖板108形成液体供给口109和液体排出口110，液体供给口109连通于深槽105a的一个端部，液体排出口110连通于该深槽105a的另一个端部。在流路部件111形成液体供给室112和液体排出室113，液体供给室112连通于液体供给口109，液体排出室113连通于液体排出口110。在喷嘴板102形成喷嘴103，喷嘴103连通于深槽105a。

该液体喷射头101如下地被驱动。从设置于流路部件111的供给用接头114供给的液体经由液体供给室112、液体供给口109而被填充于深槽105a。填充于深槽105a的液体进而经由液体排出口110、液体排出室113而从排出用接头115排出至外部。而且，通过在驱动用电极116c与116b之间，以及在驱动用电极116c与116d之间产生电位差，侧壁106b和106c厚度滑移变形，在深槽105a产生压力波并从喷嘴103喷出液滴。

专利文献1：日本特开2011-104791号公报。

发明内容

在专利文献1的液体喷射头101中，液滴喷出用的深槽105a与液滴非喷出用的浅槽105b交替地形成。浅槽105b在压电板104的喷嘴板102侧不开口，深槽105a在压电板104的喷嘴板102侧开口。使用在圆盘的外周部埋入了钻石等磨粒的切割刀片(dicing blade)(也称为钻石切刀(diamond cutter))形成深槽105a以及浅槽105b。因此，如图8(a)所示，在槽105的两端部复制切割刀片的外形形状。通常，切割刀片使用直径为2英寸以上大小的切割刀片。例如，若使深槽105a的深度为360μm，使浅槽105b的深度为320μm，在浅槽105b的底部保留40μm的压电板104，则在浅槽105b的两端部沿其长度方向形成合计约8mm的圆弧形状。浅槽105b两端部的圆弧形状为无用区域，若能够缩短其长度，则能够小型地形成液体喷射头101，还能够增加从压电体晶片的取得个数。

因此，若不在浅槽105b的底面保留压电板104并与深槽105a同样地贯通压电板104，则能够较短地形成槽105的长度方向长度。其结果，液体喷射头101小型化，并且从压电体晶片的取得个数也增加。

图9是粘贴喷嘴板102之前的压电板104的从与盖板108相反侧看的俯视示意图(参照图8)。液体喷射头101的制造工序将槽105形成于压电板104，接着，将盖板108以及流路部件111粘接于压电板104的形成了槽105的一侧，接着，磨削压电板104的与盖板108相反侧的表面并使槽105贯通，接着，将喷嘴板102粘接于压电板104的与盖板108侧相反侧的表面。因而，将预先形成了喷嘴103的喷嘴板102粘贴于图9所示的表面，或者在粘贴喷嘴板102之后照射激光射束以使喷嘴103开口。但是，由于形成100条以上具有相同形状，排列方向的间距为80μm～200μm的窄槽105，故难以区分喷出用的槽105(在图8中为深槽105a)和非喷出用的槽105(在图8中为浅槽105b)。

本发明鉴于上述问题而完成，提供容易通过喷嘴板区分喷出用的槽和非喷出用的槽的液体喷射头。