[发明专利]全自动清洗机

权利要求书

1.一种全自动清洗机，其特征在于，包括：机壳、依次设置在所述机壳内的进料装置、取片装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置；其中，所述取片装置在所述进料装置、兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置之间移动送料。

2.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述进料装置包括水槽和进料气缸，进料气缸设置在水槽顶部，用于吸取放置在水槽中的晶片。

3.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述取片装置包括丝杆、设置在所述丝杆上的多个机械手以及控制各机械手动作的取片气缸。

4.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述兆声清洗装置包括第一兆声喷淋装置、晶片刷洗装置和第二兆声喷淋装置，其中，所述晶片刷洗装置设置在所述第一、第二兆声喷淋装置的中间。

5.如权利要求4所述的全自动清洗机，其特征在于，所述第一、第二兆声喷淋装置分别包括：兆声波发生器、喷淋装置、吸附装置和伺服电机；其中，兆声波发生器和喷淋装置设置于吸附装置的上方，用于对放置在吸附装置上的晶片进行喷淋清洗，所述伺服电机控制所述吸附装置旋转。

6.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述甩干装置的顶部采用喷气装置。

7.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述出料装置采用两对称设置的存料槽。

8.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述兆声清洗装置、甩干装置以及出料装置的顶端由同一气缸控制移动。

9.如权利要求1所述的全自动清洗机，其特征在于，所述机壳上与取料装置和出料装置对应的位置上分别设置有窗口。

10.如权利要求1所述的全自动清洗装置，其特征在于，所述机壳的底部还设置有活动轮。