[发明专利]多电极石英力敏谐振器

权利要求书

1.一种多电极石英力敏谐振器，涉及这种多电极石英力敏谐振器的设计、结构及制作，其特点是在同一石英晶体基片不同位置点有大小和形状相同的多对独立电极，每对独立电极构成一个独立谐振器，由此在同一石英晶体基片上的不同位置可形成多个独立谐振器。

2.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，各个独立谐振器由以石英晶体基片为镜像面的两个对称金属电极及电极间的石英晶体构成，每对电极通过电极引线及电极外接引线与激励电路连接。

3.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，在同一石英晶体基片上的各个谐振器可均匀地分布在同一晶体基片上，也可分布不均匀。

4.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器的各个独立的谐振器与自己的激励电路连接时，能同时独立工作，互不干扰。

5.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，电极的大小及厚度由电极材料及谐振器谐振频率的大小而定，电极材料为一切导电性能良好的金属材料，如可以是金(Au)、铂(Pt)、银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)等金属。

6.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，电极及电极引线可用溅射、蒸镀等方法一次沉积完成。

7.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，其石英晶体基片的厚度由所需设计的谐振频率而定，晶体厚度约在1～0.01mm量级，晶片的直径可根据设置电极数量的多少而定。

8.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，其石英晶体基片的表面为抛光镜面或未经抛光的毛面(白片)。

9.权利要求1所述的多电极石英力敏谐振器，其石英晶体基片的外边沿为劈型平倒结构。