[发明专利]四探针电阻测试装置

权利要求书

1.一种四探针电阻测试装置，其特征在于：包括管筒夹、测阻探针组件和样品台组件，测阻探针组件和样品台组件通过管筒夹活动连接在一起；

测阻探针组件包括水平陶瓷管、竖直陶瓷管、紧固件和镍丝，竖直陶瓷管通过镍丝、紧固件与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定连接；所述竖直陶瓷管内部设置有四个位于同一条直线上的通孔，每个通孔内均设置有一根测阻探针，测阻探针为一端打磨为针尖状、另一端折成直角的铂铱丝，打磨成针尖状的一端穿过竖直陶瓷管上所设置的通孔且针尖露出竖直陶瓷管管口；所述水平陶瓷管内部设有四个大小相同的通孔，每个通孔内均设置于一根铂铱丝，每根铂铱丝的一端与测阻探针折成直角的一端固定相连，另一端露出水平陶瓷管管口；

样品台组件包括水平陶瓷管、样品台、紧固件和镍丝，所述样品台设置在紧固件上，紧固件通过镍丝与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定相连；

所述竖直陶瓷管的中心与管筒夹中心的距离和样品台中心与管筒夹中心的距离相等，在管筒夹咬合力的作用下测阻探针抵在样品台的上表面上。

2.根据权利要求1所述的四探针电阻测试装置，其特征在于：所述测阻探针组件竖直陶瓷管内部所设置的四个孔的孔心距为1mm。

3.根据权利要求1所述的四探针电阻测试装置，其特征在于：所述测阻探针组件水平陶瓷管内设置的铂铱丝与竖直陶瓷管内设置的测阻探针通过弧焊焊接在一起。

4.根据权利要求1所述的四探针电阻测试装置，其特征在于：所述露出测阻探针组件水平陶瓷管管口的铂铱丝上均焊接有一段镍丝或铂丝。

5.根据权利要求1所述的四探针电阻测试装置，其特征在于：所述管筒夹包括弹簧、固定在弹簧两侧的夹持片、固定在夹持片上的钢管和设置于钢管上的螺钉，所述钢管的内径大于测阻探针组件及样品台组件的水平陶瓷管的外径，测阻探针组件及样品台组件的水平陶瓷管套入所述钢管内并通过螺钉实现位置的固定。