[发明专利]电阻测试装置

权利要求书

1.一种电阻测试装置，包括四探针电阻测试装置、电阻仪、温度仪、管式炉、气瓶、抽气机、进气法兰和排气法兰，其中，所述四探针电阻测试装置密封于管式炉的刚玉管中且样品台正好位于刚玉管的中心，刚玉管的一端通过进气法兰与气瓶固定连接，另一端通过排气法兰与抽气机固定相连，其特征在于：

所述四探针电阻测试装置，包括管筒夹、测阻探针组件和样品台组件，测阻探针组件和样品台组件通过管筒夹活动连接在一起；

测阻探针组件包括水平陶瓷管、竖直陶瓷管、紧固件和镍丝，竖直陶瓷管通过镍丝、紧固件与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定连接；所述竖直陶瓷管内部设置有四个位于同一条直线上的通孔，每个通孔内均设置有一根测阻探针，测阻探针为一端打磨为针尖状、另一端折成直角的铂铱丝，打磨成针尖状的一端穿过竖直陶瓷管上所设置的通孔且针尖露出竖直陶瓷管管口；所述水平陶瓷管内部设有四个大小相同的通孔，每个通孔内均设置于一根铂铱丝，每根铂铱丝的一端与测阻探针折成直角的一端固定相连，另一端露出水平陶瓷管管口；

样品台组件包括水平陶瓷管、样品台、紧固件和镍丝，所述样品台设置在紧固件上，紧固件通过镍丝与水平陶瓷管的一端固定相连，水平陶瓷管的另一端与管筒夹固定相连；所述样品台组件的水平陶瓷管内设置有两个通孔，两个通孔内分别设有一根铂铑合金丝和铂丝，所述铂铑合金丝和铂丝的一端通过弧焊焊接一起并形成一个圆球状焊接点，该焊接点作为测温探头，所述测温探头靠近样品台的边缘，所述铂铑合金丝和铂丝的另一端均露出样品台组件水平陶瓷管的管口。

所述竖直陶瓷管的中心与管筒夹中心的距离和样品台中心与管筒夹中心的距离相等，在管筒夹咬合力的作用下测阻探针抵在样品台的上表面上；

露出四探针电阻测试装置测阻探针组件水平陶瓷管管口的铂铱丝穿过排气法兰将测阻探针与电阻仪相连，露出四探针电阻测试装置样品台组件水平陶瓷管的铂铑合金丝和铂丝穿过排气法兰将测温探头与温度仪相连。

2.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述四探针电阻测试装置测阻探针组件竖直陶瓷管内部所设置的四个孔的孔心距为1mm。

3.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述四探针电阻测试装置测阻探针组件水平陶瓷管内设置的铂铱丝与竖直陶瓷管内设置的测阻探针通过弧焊焊接在一起。

4.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述露出四探针电阻测试装置测阻探针组件水平陶瓷管管口的铂铱丝上均焊接有一段镍丝或铂丝。

5.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述露出四探针电阻测试装置样品台组件水平陶瓷管管口的铂铑合金丝和铂丝上分别焊接有一段镍丝或铂丝。

6.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述管筒夹包括弹簧、固定在弹簧两侧的夹持片、固定在夹持片上的钢管和设置于钢管上的螺钉，所述钢管的内径大于测阻探针组件及样品台组件的水平陶瓷管的外径，测阻探针组件及样品台组件的水平陶瓷管套入所述钢管内并通过螺钉实现位置的固定。

7.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述抽气机为设置有尾气处理装置的抽气机。

8.根据权利要求1所述的电阻测试装置，其特征在于：所述四探针电阻测试装置测阻探针组件及样品台组件的水平陶瓷管的一端均设有密封连接管件，密封连接管件与水平陶瓷管连接的一端为空心圆筒，水平陶瓷管套入所述空心圆筒内；密封连接管件的另一端为螺栓及与螺栓配合的螺母；螺栓穿过排气法兰上设置的通孔并通过螺母实现密封连接管件与排气法兰密封连接；与测阻探针组件水平陶瓷管相连的密封连接管件的内部设有四个与测阻探针组件水平陶瓷管内所设通孔位置一致，大小相等的通孔，焊接在水平陶瓷管内铂铱丝上的镍丝或铂丝穿过所述通孔，进而与电阻仪相连；与样品台组件水平陶瓷管相连的密封连接管件的内部设有两个与样品台组件水平陶瓷管内所设通孔位置一致、大小相等的通孔，焊接在水平陶瓷管内铂铑合金丝及铂丝上的镍丝或铂丝穿过所述通孔与温度仪相连。

9.根据权利要求8所述的电阻测试装置，其特征在于：所述密封连接管件的材质为聚四氟乙烯或聚酰亚胺。