[发明专利]铝靶材组件的焊接方法

权利要求书

1.一种铝靶材组件的焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供铝靶材、铝背板和钛中间层；

将所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于真空包套内并使所述钛中间层与所述铝靶材的待焊接面、铝背板的待焊接面贴合；

利用热等静压工艺将所述铝靶材、钛中间层、铝背板焊接在一起以形成铝靶材组件；

焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述铝靶材组件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钛中间层为钛箔或钛粉层。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述钛中间层为钛粉层，将所述钛粉撒在铝靶材的待焊接面上或铝背板的待焊接面上。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于真空包套之前还包括以下步骤：

采用机械加工的方法对所述铝背板的待焊接面进行图案化处理形成凸起结构。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述钛中间层为钛箔，所述凸起结构插入所述钛中间层或者所述凸起结构依次插入所述钛中间层、铝靶材中。

6.根据权利要求2或5所述的方法，其特征在于，所述钛箔的厚度为小于等于0.1mm。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用热等静压工艺将铝靶材、钛中间层、铝背板焊接在一起的步骤包括：

使内部设置有所述铝靶材、钛中间层、铝背板的真空包套的外部环境温度为250℃～350℃、外部环境压强为150Mpa～180Mpa；

对位于所述环境温度、环境压强下的所述真空包套进行保温、保压3～5小时，以将所述铝靶材、钛中间层、铝背板焊接在一起。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空包套是由厚度为1.0mm～3.0mm的铝材料焊接形成；

将所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于真空包套后，将所述真空包套抽真空至真空度至少为10^-3Pa，再将所述真空包套密封。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，形成所述凸起结构后、所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于所述真空包套前，对所述铝背板的待焊接面、所述铝靶材的待焊接面、钛中间层表面进行清洗处理。