[发明专利]一种游离气体的方法

权利要求书

1.一种游离气体的方法，包括：a）限定的一个等离子体腔室中的气体的压力；b）提供具有的磁芯周围的腔室的一部分，并具有初级绕组的变压器；c）产生的交流电流的使用固体的状态的AC开关电源，它包括一个或多个开关半导体器件，具有一个输出端耦合，而不需要一个阻抗匹配网络，到初级绕组的变压器以及d）诱导等离子体室内部的交流电位通过供给电流，而不需要匹配网络的阻抗，在变压器的初级绕组中的AC电位形成完成变压器的一个次级电路，而离解的气体的环形等离子体。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：产生电流使用固态AC开关电源的开关晶体管包括一个或多个。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述交流开关电源输出的耦合，不使用阻抗匹配网络的初级绕组的变压器，其特征在于，AC开关电源供应，不使用阻抗匹配网络中的电流初级绕组。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述交流开关电源输出的耦合，而无需常规的阻抗匹配网络，到初级绕组的变压器，其特征在于，所述交流开关电源供应，而不需要常规的阻抗匹配网络，电流在初级绕组。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述交流开关电源输出的耦合，不使用传统的阻抗匹配网络，在变压器的初级绕组，其特征在于，所述交流开关电源供应的情况下，不使用传统的阻抗匹配网络的情况下，电流在初级绕组。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括测量的初级绕组供给的电流;比较，测得的电流的预定的设定值所需的操作条件的代表，以及调整的交流开关电源的一个或多个电参数来控制电流供给到在变压器的初级绕组上。

7.根据权利要求6的方法，其特征在于，所述一个或多个电参数包括脉冲幅度，频率，脉冲宽度和相位。

8.根据权利要求1所述的等离子体中的功率测量，比较测得的功率，以一预定的设定值所需的操作条件的代表，以及调整频率的AC开关电源来控制传送到等离子体的功率的方法。

9.    离解的气体的方法，该方法包括：a）在等离子室的气体局限于一个大气压；b）产生的交流电流的使用固态AC开关电源包括一个或多个开关半导体器件，具有一个输出端被耦合，诱导的交流电位的等离子体腔室的内部通过供给电流，而无需阻抗匹配网络，而不需要一个阻抗匹配网络，具有围绕等离子腔的一部分的磁芯的变压器的初级绕组和c）在变压器的初级绕组，感应交流直接电位形成完成变压器的一个次级电路，而离解的气体的环形等离子体。