[发明专利]配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法

权利要求书

1.一种配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，根据目标产能确立机台的工艺时间参数TP，设计机台内各个工艺处理模块的工艺处理周期时间参数与晶圆传递机器人的工艺传递周期时间参数，使得三个时间参数趋于一致。

2.根据权利要求1所述的配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，所述根据目标产能确立机台的工艺时间参数TP=3600/目标产能。

3.根据权利要求1所述的配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，所述涂胶显影机内各个工艺处理模块的工艺处理周期时间参数Tn=（模块工艺处理时间+模块工艺辅助时间）/模块数量。

4.根据权利要求3所述的配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，所述涂胶显影机内各个工艺处理模块的工艺处理周期时间参数Tn通过配置模块数量，使得Tn与TP的差值最小。

5.根据权利要求1所述的配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，所述涂胶显影机内各个晶圆传递机器人的工艺传递周期时间参数Tr=两个工艺处理模块之间的晶圆传递时间×需要机器人传递晶圆服务的工艺模块种类数量。

6.根据权利要求5所述的配置涂胶显影机内工艺模块数量及机器人速度的方法，其特征在于，所述涂胶显影机内各个晶圆传递机器人的工艺传递周期时间参数Tr通过配置两个工艺处理模块之间的晶圆传递时间，使得Tn与TP的差值最小。