[发明专利]一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，其特征在于：所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔，所述凸台顶端形成反射面。

2.根据权利要求1所述的微型光纤法布里-珀罗压力传感器的制作方法，包括如下步骤：

（1）双面抛光的单晶硅片双面热氧化一层1mm厚的SiO₂后，再用低压化学气相法在单晶硅片的两面淀积一层0.3mm厚的Si₃N₄；

（2）硅片顶面用BP218胶作保护，曝光显影后用RIE工艺刻蚀掉未被BP218胶保护的Si3N4，接着再用BOE腐蚀液将顶面暴露的SiO₂去除，并用丙酮去除BP218胶；

（3）将硅片放在浓度为60％的KOH腐蚀液中，达到所需膜厚，膜片厚度为20~40mm；

（4）分别用反应离子刻蚀工艺和BOE溶液去除顶面的Si₃N₄和SiO₂；

（5）将一段纤芯掺锗的硼硅酸盐光纤切出平端面, 放入BOE腐蚀液进行腐蚀，腐蚀出所需腔长；

（6）运用静电键合工艺将台面膜和带凹腔的光纤键合连接；

（7）用光纤接续子封装所形成的光纤法布里-珀罗传感器，光纤接续子下壳体设有容置光纤的光纤槽，将光纤法珀传感器放入光纤槽，用设置在壳体两侧的夹紧结构夹紧上、下壳体，从而完成传感器的制作。