[发明专利]一种纳米级薄膜样品测试仪

权利要求书

1.一种纳米级薄膜样品测试仪，包括反射机构和温度控制机构，其特征在于，所述反射机构包括位于样品入射光方向的偏振片（2）和第一反射镜（3）、位于样品出射光方向的第二反射镜（12）；所述温度控制机构包括热台（8）、制冷片（9）、冷却水块（10）、红外测温传感器（6），其中热台（8）内部设置加热装置，热台（8）与红外测温传感器（6）通过导线与温控器相连；红外测温传感器（6）通过传感器支架（5）置于热台（8）上方，制冷片（9）、冷却水块（10）叠置放置于热台（8）下方；热台（8）通过可调节的热台支架（15）安装在底座（1）上；偏振片（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（10）分别通过旋转部（13）固定在相应支架上。

2.根据权利要求1所述的可控温掠角反射红外光谱装置，其特征在于：采用所述红外测温传感器（6）作为温度测量传感器，其与样品表面无直接接触。

3.根据权利要求1-2中任意一项权利要求所述的可控温掠角反射红外光谱装置，其特征在于：通过温控器控制热台（8）的升降温度速率，并通过冷却水块（10）和制冷片（9）的冷却，使测量能够在低至零下10℃的温度下进行。

4.根据权利要求1-2中任意一项权利要求所述的可控温掠角反射红外光谱装置，其特征在于：所述温度控制部分中的温控器是智能编程温控器，其具备设置PID参数和多段编程控制的功能，以实现连续的或不连续的多段升降温及恒温过程，并且在升温、降温过程中能够控制升温速率和降温速率。

5.根据权利要求1所述的一种纳米级薄膜样品测试仪，其特征在于，所述热台支架（15）由四个位于热台角落处的支腿组成，每个支腿高度可以调节且每个支腿上设有刻度。

6.使用权利要求1所述的一种纳米级薄膜样品测试仪进行红外光谱检测的方法，其特征在于：红外光自红外光源射出后，经过偏振片（2）后形成单一振动方向的红外光，后经过第一反射镜（3）变换入射角度后，以大于80度的入射角照射到载有样品的基底（7）上，而后经过样品吸收，剩余红外光反射到第二反射镜（12），并调整出射方向为检测器方向，经检测器检测计算机处理后得出样品的红外光谱图；其中，前述的基底（7）放置于热台（8）上。