[发明专利]多层矢量图形存储为曝光数据的方法及系统

权利要求书

1.一种多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，包括： 

第1步，将待曝光的多层矢量图形栅格化； 

第2步，将栅格化后的所述多层矢量图形数字化； 

第3步，将数字化后的所述多层矢量图形，利用八叉树分割法分割，对分割后的多层矢量图形数据，采用八叉树数据结构进行存储。 

2.根据权利要求1所述的多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，在第1步中，所述将待曝光的多层矢量图形栅格化具体为，将所述多层矢量图形的多层分别进行大小均匀的网格阵列的划分；在第2步中，所述将多层矢量图形数字化具体为，将栅格化后的所述多层矢量图形的网格均设置0或者1表示，位于曝光区域的所述网格设置1，位于非曝光区域的所述网格设置0。 

3.根据权利要求2所述的多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，在第3步中，所述八叉树分割法，包括： 

第1步，设定最大递归深度； 

第2步，找出所述多层矢量图形的最大尺寸，并以此尺寸建立第一个立方体； 

第3步，依序将单位元元素丢入能被包含且没有子节点的立方体； 

第4步，若没有达到最大递归深度，就进行细分八等份，再将该立方体所装的单位元元素全部分担给八个子立方体； 

第5步，若发现子立方体所分配到的单位元元素数量不为零且跟父立方体是一样的，则该子立方体停止细分。 

第6步，重复第3步骤，直到达到最大递归深度。 

4.根据权利要求3所述的多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，所述的采用八叉树数据结构进行存储，具体为，对经过八叉树分割法分割后的所述立方体设为结点，将所述结点上的网格依次标记为1、2、3、4、5、6、7、8个子结点，存储后，一个记录与一个结点相对应，所述记录中描述的是与之对应的所述结点的八个子结点的特性值。 

5.根据权利要求1-4中任一项所述的多层矢量图形存储为曝光数据的方法，其特征在于，所述多层矢量图形为GDSⅡ图形。 

6.一种多层矢量图形存储为曝光数据的系统，其特征在于，包括:栅格化单元、数字化单元、八叉树分割单元、八叉树数据存储单元，所述栅格化单元 用于将待曝光的多层矢量图形栅格化；所述数字化单元用于将栅格化后的所述多层矢量图形数字化；所述八叉树分割单元用于将数字化后的所述多层矢量图形，利用八叉树分割法分割；所述八叉树数据存储单元用于对分割后的多层矢量图形数据，采用八叉树数据结构进行存储。 

7.根据权利要求6所述的多层矢量图形存储为曝光数据的系统，其特征在于，所述栅格化单元具体用于，将所述多层矢量图形的多层分别进行大小均匀的网格阵列的划分；所述数字化单元具体用于，将栅格化后的所述多层矢量图形的网格均设置0或者1表示，位于曝光区域的所述网格设置1，位于非曝光区域的所述网格设置0。 

8.根据权利要求7所述的多层矢量图形存储为曝光数据的系统，其特征在于，所述八叉树分割单元具体用于，包括： 

第1步，设定最大递归深度； 

第2步，找出所述多层矢量图形的最大尺寸，并以此尺寸建立第一个立方体； 

第3步，依序将单位元元素丢入能被包含且没有子节点的立方体； 

第4步，若没有达到最大递归深度，就进行细分八等份，再将该立方体所装的单位元元素全部分担给八个子立方体； 

第5步，若发现子立方体所分配到的单位元元素数量不为零且跟父立方体是一样的，则该子立方体停止细分。 

第6步，重复第3步骤，直到达到最大递归深度。 

9.根据权利要求8所述的多层矢量图形存储为曝光数据的系统，其特征在于，所述八叉树数据存储单元具体用于，对经过八叉树分割单元分割后的所述立方体设为结点，将所述结点上的网格依次标记为1、2、3、4、5、6、7、8个子结点，存储后，一个记录与一个结点相对应，所述记录中描述的是与之对应的所述结点的八个子结点的特性值。 

10.根据权利要求6-9中任一项所述的多层矢量图形存储为曝光数据的系统，其特征在于，所述多层矢量图形为GDSⅡ图形。