[发明专利]长波红外充气式薄膜反射镜及其主镜面形生成方法

权利要求书

1.长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述充气式薄膜反射镜由第一聚酰亚胺薄膜层和第二聚酰亚胺薄膜层两层聚酰亚胺薄膜组成，两层聚酰亚胺薄膜之间通过密封圈实现密封连接，密封圈上设有充气孔，充气孔通过充气管与充气装置连接；所述第一聚酰亚胺薄膜层是透明层；第二聚酰亚胺薄膜层作为工作反射面，其靠近第一聚酰亚胺薄膜层的表面镀铝膜，另一侧表面镀铜膜。

2.根据权利要求1所述的长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述聚酰亚胺薄膜的厚度为25μm。

3.根据权利要求1所述的长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述第一聚酰亚胺薄膜层的两表面镀增透膜。

4.根据权利要求1所述的长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述铝膜的厚度是等厚，厚度为1μm；铜膜的最大厚度为2μm。

5.根据权利要求1或4所述的长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述铝膜的反射率不低于80%。

6.根据权利要求1所述的长波红外充气式薄膜反射镜，其特征在于所述薄膜反射镜的通光孔径尺寸不小于400mm。

7.一种权利要求1所述长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，其特征在于所述主镜面形生成方法步骤如下：

步骤一、计算充气式薄膜反射镜理想抛物面面形参数；

步骤二、根据薄膜反射镜面形尺寸将聚酰亚胺薄膜至少分为10个均等圆环，对每个圆环分配镀膜厚度；

步骤三、运用分层镀膜的方法，采用遮挡镀膜的方式分别从内向外进行预镀；

步骤四、利用膜层厚度仪控制镀层厚度，将此厚度输出与计算得出的理想厚度进行比较，并运用补偿法对理论模型进行校准，使实际的镀膜厚度达到或者接近理论计算薄膜厚度。

8.根据权利要求7所述的长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，其特征在于所述镀铜膜层的厚度是随薄膜充气后henky-curve曲线设定，即Z_Henky=-0.899×w(0)(u²-0.871u⁴)，其中u=2x/D，x为薄膜中心到任意位置的径向距离，D为薄膜反射镜的通光口径，w(0)是在薄膜中心处的最大偏移量。

9.根据权利要求7所述的长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，其特征在于所述聚酰亚胺薄膜进行镀膜之前，用面型调整机进行展平。

10.根据权利要求7所述的长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，其特征在于所述镀膜方式采用磁控溅射式镀膜方法或真空蒸发镀膜方法。