[发明专利]喷淋头及反应腔室

权利要求书

1.一种喷淋头，用于向反应区域提供反应气体，其特征在于，所述喷淋头包括自上而下堆叠设置的顶板、气体分配板及冷却板；所述气体分配板包括贯穿所述气体分配板的多个第一通孔，所述气体分配板的下表面具有多个凹陷，所述凹陷设置在相邻所述第一通孔之间的区域；所述冷却板间隔设置有贯穿所述冷却板的第二通孔和第三通孔，所述第三通孔与第一通孔相连通，所述第二通孔与所述凹陷相连通；所述气体分配板的下表面与所述冷却板上表面贴合使得所述凹陷与冷却板围成第二气体扩散腔，所述第二通孔连通所述第二气体扩散腔与冷却板下方的反应区域；所述顶板与所述气体分配板之间限定第一气体扩散腔，所述第一通孔和第三通孔共同连通所述第一气体扩散腔和冷却板下方的反应区域。

2.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述气体分配板与冷却板之间为可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的喷淋头，其特征在于，所述气体分配板朝向冷却板的一侧设置有多个卡槽，所述冷却板朝向气体分配板的一侧设置有相对应的突起，所述卡槽和突起配合密封以使得所述气体分配板和冷却板贴靠在一起。

4.如权利要求3所述的喷淋头，其特征在于，所述突起为弹性材料构成。

5.如权利要求4所述的喷淋头，其特征在于，所述弹性材料包括铝、铜、硅胶橡胶及特氟龙。

6.如权利要求3所述的喷淋头，其特征在于，所述气体分配板边缘一周还设置有锁孔，所述冷却板朝向气体分配板的一侧边缘设置有扣锁，所述扣锁卡入所述锁孔中以使得所述气体分配板和冷却板贴靠在一起。

7.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述气体分配板与冷却板焊接在一起。

8.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述气体分配板的多个凹陷通过切削工艺形成，所述第一通孔通过钻孔工艺形成。

9.如权利要求8所述的喷淋头，其特征在于，所述切削工艺为铣削，或者是火花放电加工。

10.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述顶板朝向气体分配板的一面具有凹陷，或者所述气体分配板朝向顶板的一面具有凹陷，从而所述顶板和气体分配板贴合后形成第一气体扩散腔。

11.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述第一气体扩散腔通入第一气体，所述第二气体扩散腔通入第二气体，所述第一气体为III族气体，所述第二气体为V族气体。

12.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述第一通孔内插入有第一气体管，所述第一气体管的外壁与所述第一通孔的孔壁贴合。

13.一种反应腔室，包括：腔体、用于装载衬底的托盘和喷淋头，所述托盘设置于所述腔体的底部，所述喷淋头设置在所述腔体的顶部并与所述托盘相对设置，所述托盘与所述喷淋头之间限定气体反应区域，所述喷淋头用于向所述反应区域输出反应气体；其特征在于，所述喷淋头为如权利要求1-12中任意一项所述的喷淋头。