[发明专利]一种高通道无热型阵列波导光栅的AWG制作方法

说明书

技术领域

本发明具体为一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法。 

背景技术

随着通信技术及其业务的飞速发展，大容量光纤通信系统的研究具有很大的应用价值。迄今已获得的光纤最大传输容量只相当于其潜在容量的0．24。密集波分复用(DWDM)技术能很好地挖掘光纤的传输潜能。对它的研究与应用正在同时进行基于阵列波导光栅(AWG)的光器件在WDM技术中有重要的应用前景，AWG是一种平面波导器件，是利用PLC技术在芯片衬底上制作的阵列波导光栅。与FBG和TTF相比，AWG具有集成度高、通道数目多、插入损耗小，易于批量自动化生产等优点。但是，由于传统的硅基AWG芯片对温度比较敏感，因此对传统的热敏感AWG需要使用温度控制器和温度控制电路来稳定中心输出波长，相应增加了AWG的成本、尺寸以及限制了它的应用范围。因而国内几乎没有一种操作便捷，性能又符行业标准的厂家。 

发明内容

本发明所解决的技术问题在于提供一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。 

为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案来实现：一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法，包括以下步骤： 

    （1）采用至少一个输入波导、输入平板波导、阵列波导、平面波导和多个输出波导组成曲线形ＡＷＧ芯片；

    （2）采用夹具及粘接胶，将曲线形ＡＷＧ芯片粘贴并固化在金属底座上；

    （3）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片固定在芯片夹具上，将输入光纤阵列和输出光纤阵列固定在光纤阵列夹具上并分别放置在六维微调架上，进行与曲线形ＡＷＧ芯片的输入波导和输出波导的耦合调试后，进行紫外胶固化；

    （4）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片沿分割线切割线割将ＡＷＧ芯片切开成一个直线槽，将第二部分ＡＷＧ芯片与基板粘接固定在一起；

     （5）用纯净水和清洗液将直线槽清洗干净，并点上UV硅胶；

     （6）将螺杆安装在金属底座上，调节两边的螺母使AWG中心波长为ＩＴＵＴ波长，将螺母固定打上螺纹胶；

      （7）将制作的无热ＡＷＧ从夹具上取下，制作完成。

进一步，步骤（4）中所述的芯片将切成3:7两部分，并且第一部分小于第二部分。 

有益效果：

 本发明方法的AWG具有集成度高、通道数目多、插入损耗小，易于批量自动化生产等优点。

具体实施方式

为了使本发明的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面结合本发明的具体实施例，进一步阐述本发明。 

一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法，包括以下步骤： 

  （1）采用输入波导、输入平板波导、阵列波导、平面波导和输出波导组成曲线形ＡＷＧ芯片；

    （2）采用夹具及粘接胶，将曲线形ＡＷＧ芯片粘贴并固化在金属底座上；

    （3）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片固定在芯片夹具上，将输入光纤阵列和输出光纤阵列固定在光纤阵列夹具上并分别放置在六维微调架上，进行与曲线形ＡＷＧ芯片的输入波导和输出波导的耦合调试后，进行紫外胶固化；

    （4）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片沿分割线切割线割将ＡＷＧ芯片切开成一个直线槽，将第二部分ＡＷＧ芯片与基板粘接固定在一起；

     （5）用纯净水和清洗液将直线槽清洗干净，并点上UV硅胶；

     （6）将螺杆安装在金属底座上，调节两边的螺母使AWG中心波长为ＩＴＵＴ波长，将螺母固定打上螺纹胶；

      （7）将制作的无热ＡＷＧ从夹具上取下，制作完成。

进一步，步骤（4）中所述的芯片将切成3:7两部分，并且第一部分小于第二部分。 

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征及本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。