[发明专利]冷却水分集流装置及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及温度控制系统，尤其涉及一种冷却水分集流装置及其制备方法。

背景技术

光刻工艺在目前特大规模集成电路制造过程中起着举足轻重的作用，光刻设备例如高精密的光刻机，其内部环境及部件的温，度对光刻精度的影响很大。光刻机内部的热源很多，在光刻机工作的过程中，热源产生的热量会影响系统内各部件及空间温度的稳定，必须加以控制。水冷是控制光刻机温度的主要手段之一，通过向工件台、掩膜台、灯室、照明、物镜等区域的发热部件提供高精度的循环冷却水，使各部件及空间温度具有一定的稳定性和均匀性。由于温控对象数量较多，温控设备或环境柜所输出的恒温冷却水通过分流块的方式分流到各部件，再通过集流块的方式使冷却水回到温控设备或者环境柜内。

目前，分流块和集流块的设计一般有两种方式，常见的是将分流块和集流块采用圆形钢管焊接。采用圆形钢管焊接而成的分流块和集流块，成本较低，但对焊接工艺要求高，且可靠性差、不够美观；另一种设计方式采用不锈钢铁块精加工而成，图1a为现有技术中采用不锈钢铁块精加工而成的分集流装置的结构示意图；图1b为现有技术中采用不锈钢铁块精加工而成的集流块的结构示意图。参照图1a以及1b，采用不锈钢块精加工出来的分流块11和集流块12，具有集成度高、耐用、美观等优点，但是也有加工成本高、工期长、质量重等缺点。

另外采用圆形钢管焊接和不锈钢块精加工的分流块和集流块均是一体式结构，接口数量必须按照每个型号光刻机的具体需求进行定制，无法成批生产和提前备货，并且采用圆形钢管焊接和采用不锈钢块精加工的分流块和集流块接口方向不能灵活加工，增加了布管难度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供了一种冷却水分集流装置及其制备方法，以解决一、冷却水分集流结构模块化，可批量生产，缩短加工周期，降低加工成本；二、冷却水分集流结构轻量化，减轻分流块的质量；三、冷却水分集流结构接口灵活性，降低布管难度的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：提供一种冷却水分集流装置，包括：连接杆、若干紧堵机构、若干分流机构；所述紧堵机构穿过所述连接杆并紧靠所述分流机构，使所述分流机构相对于所述连接杆悬空固定，其特征在于，若干个所述分流机构首尾串联成冷却水主路。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述紧堵机构为2个活动的紧堵机构或者1个活动的紧堵机构配合1个固定的紧堵机构。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述紧堵机构由紧固单元和堵头单元组成。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述紧固单元由螺母、旋转垫片、平垫片组成。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述堵头单元接口内含有密封元件或者所述堵头单元由堵头、堵头压块、堵头密封圈组成。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述堵头单元区分为公堵头或母堵头。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流机构接口内含有密封元件或者所述分流机构由分流单元及分流密封圈组成。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流单元至少为三通结构。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流单元构成冷却水主路截面外形设计成圆形或者近似圆形或者至少为三条边的多边形。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流单元构成冷却水主路截面外形设计成正方形或者四边形或者八边形或者正八边形。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流单元出入口的截面设计成圆形或者近似圆形或者至少为三条边的多边形。

进一步地，在所述冷却水分集流装置中，所述分流单元出入口的截面设计成正方形四边形或者八边形或者正八边形。

本发明还提供了一种冷却水分集流装置的制备方法，包括：确定冷却水主路以及冷却水支路的数量；根据冷却需要确定冷却水主路以及冷却水支路的流量；根据所述流量确定分流机构管路的长度；根据所述流量确定所述分流机构的管径；根据冷却水主路的长度选择连接杆的长度；确定所述分流机构入口以及出口的位置以及确定所述分流机构入口以及出口的方向；将由连接杆贯穿的若干紧堵机构、若干分流机构组成的冷却水分集流装置布置在需要散热的位置。

进一步地，在所述冷却水分集流装置的制备方法中，所述冷却水主路的流量小于50L/min。

进一步地，在所述冷却水分集流装置的制备方法中，所述冷却水支路的流量小于10L/min。