[发明专利]一种大型太阳能薄膜电池片组件生产工艺及设备

权利要求书

1.一种大型太阳能薄膜电池片组件的生产工艺，其特征在于：所述生产工艺包括以下步骤：

Ⅰ、薄膜层的制备：

1）钼膜层基片的形成：在基片表面上，首先在1.5×10^-1Pa气压下蒸发沉积0.2-0.5um的Mo层，使Mo与所述基片具有良好的结合力；然后在1.0×10^-2Pa气压下蒸发沉积0.8-1um的Mo层，最终在所述基片上形成钼膜层基片；

2）薄膜电池P-N结中P型部分的形成：在1.5×10^-3Pa气压、150-200℃条件下，用电子束蒸发所需膜料并开启对应的离子源，制备1.5-2.1um薄膜厚度的铜铟镓硒层以形成薄膜电池P-N结中P型部分；

3）薄膜电池P-N结中N型部分的形成：在1.5×10^-3Pa气压、150-200℃条件下，在所述铜铟镓硒层上，用电子束蒸发所需膜料并开启对应的离子源，制备0.05um厚度的硫化镉或者硫化锌膜层以形成薄膜电池P-N结中N型部分；

4）本征氧化锌膜层的形成：在1.5×10^-3Pa气压、150-200℃条件下，用电子束蒸发所需膜料并开启对应的离子源，制备0.05um薄膜厚度的本征氧化锌膜层；

5）铝掺杂膜层的形成：在1.5×10^-3Pa气压、150-200℃条件下，用电子束蒸发所需膜料并开启对应的离子源，制备0.1.5um薄膜厚度的铝掺杂膜层；

6）减反膜层及引电极的制备：在1.5×10^-3Pa气压、150-200℃条件下，用电子束蒸发所需膜料并开启对应的离子源，制备0.1-1.5um的氟化镁，然后引会流层镍及铝薄膜厚度作为减反膜层及引电极；

Ⅱ、划线：在薄膜层上划线形成小电池片；

Ⅲ、汇流：将划线后形成的小电池片导线汇流；

Ⅳ、合片：具有薄膜的基片、PVB胶合膜与背板基片复合在一起制成薄膜电池组件；

Ⅴ、薄膜基片与背板基片中间放置PVB胶膜：然后将溢出表片的PVB胶膜去除；

Ⅵ、高压釜加固：将涂好PVB胶膜的薄膜电池片组件放入高压釜加压固化，得到成品薄膜电池片组件。

2.按照权利要求1所述生产工艺制成的薄膜电池片组件，其特征在于：所述薄膜电池组件的尺寸大于600×1000mm 。

3.按照权利要求2所述的生产工艺制成的薄膜电池片组件，其特征在于：所述薄膜电池组件的尺寸为1400×1100mm。

4.一种大型太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述生产设备包括镀膜机组、划线机组、汇流条焊接机组、合片层压机组和全自动清洗机，其中镀膜机组包括进片室、前过渡室、一个以上镀膜室、后过渡室和出片室，所述进片室和出片室配有低真空系统，所述前过渡室、镀膜室和后过渡室配有高真空系统，在传动部件带动下，基片依次经过所述镀膜机组的各个部分。

5.按照权利要求4所述的太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述镀膜室包括电子束蒸发装置、位于电子束蒸发装置上部的修正板装置，所述修正板装置包括修正板电机及在所述电机带动下转动的修正板支架，所述修正板安装在所述支架上。

6.按照权利要求5所述的太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述电子束蒸发装置包括坩埚、位于所述坩埚中的蒸发料、离子源和电子枪。

7.按照权利要求6所述的太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述电子束蒸发装置还包括自动补料系统，所述自动补料系统包括料筒、送料电机，送料电机通过传动部件与蜗轮连接，所述蜗轮与蜗杆连接，所述料筒的出口位于所述蜗杆的上方，在所述蜗杆靠近端部的位置开有出料口，所述出料口正对坩埚。

8.按照权利要求5所述的太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述进片室、前过渡室、一个以上镀膜室、后过渡室和出片室的前后各装有一个插板阀。

9.按照权利要求8所述的太阳能薄膜电池片组件生产设备，其特征在于：所述进片室、前过渡室、一个以上镀膜室、后过渡室和出片室的前后两侧各装有一片活动板；所述插板阀包括气缸和活塞杆；所述活动板连接在所述活塞杆上。