[发明专利]一种基于导电复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器

权利要求书

1.一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，包括压电基片(1)，叉指换能器(2)，导电复合敏感材料(3)，其特征在于：所述导电复合敏感材料(3)由导电颗粒(4)和绝缘材料(5)组成，绝缘材料(5)选择性吸收/吸附甲醛气体后体积会发生改变，改变导电复合敏感材料的体积，导致导电复合敏感材料(3)内部的导电颗粒(4)之间的间距变化。

2.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：导电颗粒(4)不吸附甲醛气体。

3.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：在导电复合敏感材料(3)内，导电颗粒(4)和绝缘材料(5)是均匀分布，或者是不均匀分布，或者完全分离。

4.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：导电复合敏感材料(3)的形式是面状的二维形式，或者是线状的一维形式，或者是点状的零维形式。

5.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：导电复合敏感材料(3)完全覆盖压电基片(1)，或者仅覆盖两叉指换能器(2)之间的压电基片(1)表面，或者叉指换能器(2)以及两叉指换能器(2)之间的压电基片(1)表面。

6.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：导电复合敏感材料(3)与叉指换能器(2)之间增加一层薄的介质层。

7.如权利要求6所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述介质层的介质材料包括SiO2、SiN、ZnO、聚对二甲苯、聚酰亚胺中的一种或几种。

8.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：采用的声表面波模式包括瑞利波、LAMB波、乐甫波、漏波、水平剪切波中的一种或几种。

9.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：叉指换能器(2)材料为金、银、铜、铝、铬、镍的任一种或者上述材料的合金。

10.如权利要求1所述的一种基于复合敏感材料的声表面波甲醛气体传感器，其特征在于：所述绝缘材料(5)选用聚乙烯亚胺或环氧氯丙烷，所述导电颗粒(4)选择炭黑、碳纳米管、石墨烯、纳米金的任一种。