[发明专利]一种改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物，其特征在于所述缓蚀剂组合物包括15~35质量份含氢聚二甲基硅氧烷，0.5~2.5质量份2-乙烯基吲哚类衍生物，0.01~0.5质量份铂催化剂和50~250质量份溶剂。

2.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：15~25质量份含氢聚二甲基硅氧烷、1~2.5质量份2-乙烯基吲哚类衍生物、0.05~0.25质量份铂催化剂和100~250质量份溶剂。

3.按照权利要求2所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括：15~20质量份含氢聚二甲基硅氧烷、1.5~2.0质量份2-乙烯基吲哚类衍生物、0.1~0.25质量份铂催化剂和100~150质量份溶剂。

4.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷分子量300~5000，优选分子量为500~2500，最优选分子量为500~1500。

5.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷活性氢含量为0.2wt%~2.0wt%，优选活性氢含量0.2wt %~1.0wt%，最优选活性氢含量0.3wt %~0.5wt%。

6.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述含氢聚二甲基硅氧烷为含羟基、苯基取代基的含氢聚二甲基硅氧烷。

7.按照权利要求6所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：以主链上的摩尔分数计，所述含氢聚二甲基硅氧的烷羟基含量为0.5%~5%，苯基含量为0.5%~5%。

8.按照权利要求6所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：以主链上的摩尔分数计，所述含氢聚二甲基硅氧烷的羟基含量为0.5%~2.0%；苯基含量为0.5%~1.5%。

9.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述2-乙烯基吲哚类衍生物结构为                                                  ，其中R₁，R₂为0~8个碳原子的烷基取代基或芳香取代基，优选苯基取代基。

10.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述铂催化剂为氯铂酸异丙醇溶液，其中Pt含量为0.1~1.5wt%，优选0.1~0.5wt%。

11.按照权利要求1所述的缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂为甲醇、乙醇、丙酮、丙醇、异丙醇、乙醚、苯、甲苯或二甲苯中的一种，优选甲苯。

12.权利要求1~11中任一权利要求所述新型缓蚀剂组合物的制备方法，包括如下内容，在氮气保护和搅拌条件下，将含氢聚二甲基硅氧烷和2-乙烯基吲哚类衍生物加入到溶剂中，在75~110℃条件下加入所述铂催化剂，反应3~10小时，反应混合物经过滤和减压蒸馏后所得产物即为所述缓蚀剂组合物。