[发明专利]LPCVD设备的温控系统自校正方法与装置

权利要求书

1.一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1）对LPCVD设备各个温控区建立包含时滞误差的PID控制模型；

2）建立包含权重系数的比例，积分，微分控制项的自校正调节项模型，并确定已建立的权重系数取值范围；

3）建立监督控制项，用于加强LPCVD设备的温控系统的稳定性。

2.根据权利要求1所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，所述步骤1）的PID控制模型的构建方式为使用增量式方式模型，该模型为

Δu_i(t)=(K_ip(t)+ΔK_ip(t))(e_i(t)-e_i(t-1))+(K_ii(t)+ΔK_ii(t))e_i(t)

+(K_id(t)+ΔK_id(t))(e_i(t)-2e_i(t-1)+e_i(t-2))

式中，i为温区的序号；t为时刻；e_i(t)，e_i(t-1)和e_i(t-2)分别为第t，第t-1和第t-2时刻所得的误差信号；Δu_i(t)为控制器增量；K_ip为比例系数，K_ii为积分系数，K_id为微分系数。

3.根据权利要求1所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，所述步骤2）中使用

构建含权重系数的比例调整规则控制模型，

其中ΔK_ip(t)为比例自校正调整项，α_i11、α_i12为调整项的权重系数、e_i(t)为误差信号，ε为达到性能指标的误差值。

4.根据权利要求1所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，所述步骤2）中使用

构建含权重系数的积分调整规则控制模型，

其中ΔK_ii(t)为积分自校正调整项，α_i21、α_i22为调整项的权重系数、e_i(t)为误差信号，ε为达到性能指标的误差值。

5.根据权利要求1所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，所述步骤2）中使用

构建含权重系数的微分调整规则控制模型，

其中ΔK_id(t)为积分自校正调整项，α_i31、α_i32为调整项的权重系数、e_i(t)为误差信号，ε为达到性能指标的误差值。

6.根据权利要求3-5任一项所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，α_i11，α_i21，α_i31，α_i12，α_i22和α_i32的取值范围为0-1。

7.根据权利要求6所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，α_i11，α_i21，α_i31，α_i12，α_i22和α_i32的权重值分别为α_i11=0.4，α_i12=0.2，α_i21=0.02，α_i22=0.01，α_i31=0.1和α_i32=0.05。

8.根据权利要求1所述的一种LPCVD设备的温控系统自校正方法，其特征在于，所述步骤3）监督项的建立方法为，设定误差阈值，当误差超过阈值时，启动安全保护项，将系统控制在系统温度允许范围内。