[发明专利]一种n型外延衬底激光二极管有效
| 申请号: | 201310500560.9 | 申请日: | 2013-10-22 | 
| 公开(公告)号: | CN103594929A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 | 
| 发明(设计)人: | 丛国芳 | 申请(专利权)人: | 溧阳市东大技术转移中心有限公司 | 
| 主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 | 
| 代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 黄明哲 | 
| 地址: | 213300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 外延 衬底 激光二极管 | ||
1.一种n型外延衬底激光二极管,其特征在于:包括蓝宝石衬底,在蓝宝石衬底上具有n-GaN外延衬底,在n-GaN外延衬底上具有发光结构;
其中,所述发光结构设置于n型外延衬底的中部区域,该发光结构由下至上依次具有n型界面层、发光层、p型界面层、p型注入层以及p电极;n-GaN外延衬底的外围区域上具有n电极;
其中,所述p型注入层为空穴注入层;
所述n电极环绕所述发光结构;所述n电极的厚度不大于n型界面层的厚度,并且n电极与n型界面层之间具有空隙。
2.如权利要求1所述的n型外延衬底激光二极管,其特征在于:
其中,n型界面层是n-AlxInyGa1-x-yN,0<x≤1,0<y≤1并且x+y≤1;
其中,发光层是超晶格结构的多量子阱层,该多量子阱层的材料为ZnO/Zn1-aMgaO/Zn1-bAsbO,0<a≤0.2、0<b≤0.3;
其中,p型界面层为p-AlxInyGa1-x-yP,0<x≤1,0<y≤1并且x+y≤1;
其中,p型注入层为p型NiO注入层;
其中,p电极为Au、Pt、Pt/Ni、Au/Ni或ITO(氧化铟锡);n电极为In、Al、Ga、Ag或ITO。
3.如权利要求2所述的n型外延衬底激光二极管,其特征在于:
优选地,0<x≤0.45,0<y≤0.55;0<a≤0.1、0<b≤0.15。
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