[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂

权利要求书

1.一种新型的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。

2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：所述有机溶剂为N-甲基吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲基亚砜、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、环丁砜、丁基二乙二醇、乙基二乙二醇、甲基二乙二醇、三乙二醇、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、及其混合物。

3.如权利要求1或2所述的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：所述光致抗蚀剂剥离剂中各组分的重量份分别为N-乙基氨基甲酸乙酯20重量份～30重量份、乙二醇单丁醚5重量份～10重量份、没食子酸3～5重量份、有机溶剂60～70重量份和防腐蚀剂5～10重量份。

4.如权利要求1至3所述的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：所述防腐蚀剂由氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉构成，两者的质量为2∶1～1∶2。

5.如权利要求1至4所述的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：所述氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑的制备方法具体为：

第一步，1-十六烷基咪唑的制备，将1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀。将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃恒温反应16h后自然冷却至室温。然后将混合物过滤取出滤液，用蒸馏水洗涤数次以除去没有参加反应的咪唑，用旋转蒸发仪将溶剂乙酸乙酯蒸出，所得产物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重。得到淡黄色液体，称量产物；

第二步，将2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀，其中，反应物2-氯乙醇过量，使1-十六烷基咪唑充分反应，将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃，恒温反应6h，自然冷却至室温。用旋转蒸发仪将溶剂和过量的反应物2-氯乙醇蒸出，所得产物在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重，得到的氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑为白色固体。

6.如权利要求1至5所述的光致抗蚀剂剥离剂，其特征在于：所述1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉的制备方法具体为：

将0.2mol的油酸与0.24mol的二乙烯三胺均匀混合，并添加质量分数为25％～35％的二甲苯作为携水剂，随后持续搅拌混合液，同时匀速加热至415K～435K进行酰胺脱水，反应2.5h后得到酰胺，在此基础上，继续升温至495～515K进行环化脱水，反应2h后冷却至395K，利用真空泵在减压条件下蒸馏0.5h以除去二甲苯和未反应完的二乙烯三胺，最后采用异丙醇对粗产物进行重结晶得到1-(2-氨乙基)-2-油酸基咪唑啉；

第二步，在合成的1-(2-氨乙基)-2-油酸基咪唑啉中加入0.2mol硫代氨基脲和30ml正辛醇进行硫化处理。首先对混合液持续搅拌并加热至415K～435K进行3.5h的缩合反应，然后利用真空泵在405KK进行减压蒸馏0.5h，得到1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉。