[发明专利]包含咪唑啉缓蚀剂的感光膜清洗液

权利要求书

1.一种新型的感光膜清洗液，其特征在于：包括季戊四醇、氢氧化钾、有机胺、防腐蚀剂和溶剂。

2.如权利要求1所述的感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的质量百分比为0.1-15％，氢氧化钾的质量百分比为0.1-10％，有机胺的质量百分比为0.5-30％，防腐蚀剂0.5-5％，溶剂为佘量，各组分质量百分比之和为100％。

3.如权利要求1或2所述的感光膜清洗液，其特征在于：季戊四醇的质量百分比为10％，氢氧化钾的质量百分比为8％，有机胺的质量百分比为25％，防腐蚀剂3％，溶剂为54％。

4.如权利要求1至3所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述机胺为选自包括单乙醇胺、异丙醇胺、氨基乙氧基乙醇、n-甲基乙醇胺、二甲基乙醇胺、二乙基乙醇胺、2-氨乙基氨基乙醇、氨乙基哌嗪、氨丙基哌嗪、1-(2-羟乙基)哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、2-苯基哌嗪、1-氨乙基哌啶、1-氨基哌啶和1-氨甲基哌啶的组的至少一种化合物。

5.如权利要求1至4所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、咪唑啉酮、醇、醚、酰胺中的一种或多种。

6.如权利要求1至5所述的感光膜清洗液，其特征在于：所述的亚砜为二甲基亚砜；所述的砜为环丁砜；所述的咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺为二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺；所述的醇为丙二醇、二乙二醇；醚为乙二醇醚或丙二醇醚。

7.如权利要求1至6所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述防腐蚀剂由氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉构成，两者的质量为2：1～1：2。

8.如权利要求1至7所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑的制备方法具体为：

第一步，1-十六烷基咪唑的制备，将1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀。将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃恒温反应16h后自然冷却至室温。然后将混合物过滤取出滤液，用蒸馏水洗涤数次以除去没有参加反应的咪唑，用旋转蒸发仪将溶剂乙酸乙酯蒸出，所得产物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重。得到淡黄色液体，称量产物；

第二步，将2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀，其中，反应物2-氯乙醇过量，使1-十六烷基咪唑充分反应，将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃，恒温反应6h，自然冷却至室温。用旋转蒸发仪将溶剂和过量的反应物2-氯乙醇蒸出，所得产物在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重，得到的氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑为白色固体。

9.如权利要求1至8所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉的制备方法具体为：

将0.2mol的油酸与0.24mol的二乙烯三胺均匀混合，并添加质量分数为25％～35％的二甲苯作为携水剂，随后持续搅拌混合液，同时匀速加热至415K～435K进行酰胺脱水，反应2.5h后得到酰胺，在此基础上，继续升温至495～515K进行环化脱水，反应2h后冷却至395K，利用真空泵在减压条件下蒸馏0.5h以除去二甲苯和未反应完的二乙烯三胺，最后采用异丙醇对粗产物进行重结晶得到1-(2-氨乙基)-2-油酸基咪唑啉；

第二步，在合成的1-(2-氨乙基)-2-油酸基咪唑啉中加入0.2mol硫代氨基脲和30ml正辛醇进行硫化处理。首先对混合液持续搅拌并加热至415K～435K进行3.5h的缩合反应，然后利用真空泵在405KK进行减压蒸馏0.5h，得到1-(2-氨基-硫脲乙基)-2-油酸基咪唑啉。