[发明专利]粉末沉积装置和粉末沉积方法

权利要求书

1.一种粉末沉积装置，包括：

设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；

设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；

筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；以及

盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。

2.根据权利要求1所述的粉末沉积装置，

其中在所述鼓形转动体以产生使得粉末不会从所述内壁脱落的离心力的程度的速度转动的状态下，所述盖部件从关闭状态逐渐变到打开状态而将粉末供给到所述内壁。

3.根据权利要求2所述的粉末沉积装置，

其中所述粉末供给/回收部件能够在上面与所述鼓形转动体的内壁分离的状态和上面与所述鼓形转动体的内壁接触或邻近的状态之间移动，

其中当所述盖部件从关闭状态逐渐变到打开状态而将粉末供给到所述内壁时，所述上面处于上面与所述鼓形转动体的内壁分离的状态，以及

其中当从所述内壁回收粉末时，所述上面处于上面与所述鼓形转动体的内壁接触或邻近的状态。

4.根据权利要求3所述的粉末沉积装置，

其中，在所述盖部件的打开状态下通过所述粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述鼓形转动体的内壁之后，在所述上面处于上面与所述鼓形转动体的内壁接触或邻近的状态并且所述粉末供给/回收部件从所述鼓形转动体的内壁回收粉末的同时，在所述粉末供给/回收部件内积聚粉末，而且所述盖部件处于关闭状态。

5.根据权利要求4所述的粉末沉积装置，

其中被构造成搅拌粉末的部件设置在所述粉末供给/回收部件的下面上。

6.一种粉末沉积方法，包括：

在真空容器内设置被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；

在所述鼓形转动体的内部设置沉积源；

在所述鼓形转动体转动的状态并且筒状粉末供给/回收部件的底部处于打开状态下，在将粉末供给到所述鼓形转动体的内壁后，由所述沉积源进行沉积；

通过所述筒状粉末供给/回收部件的上面回收供给到所述鼓形转动体的内壁的粉末；以及

通过使得所述筒状粉末供给/回收部件的下面的附近处于关闭状态，在所述筒状粉末供给/回收部件内积聚回收的粉末。