[发明专利]可配置带电粒子装置

权利要求书

1.可配置带电粒子装置（100），其装配有：

·带电粒子柱（102），其包括：

    ○用于沿光轴（106）产生带电粒子束的带电粒子源（104）；和

    ○用于将带电粒子束聚焦在样本位置的磁浸没透镜（107），所述磁浸没透镜包括第一透镜极（108），所述第一透镜极形成磁浸没透镜的从带电粒子源被移开最远的部分；

·围绕第一透镜极的励磁线圈（110）；

·至少第一载物台（112），在所述第一载物台上可以安装样本（114），所述第一载物台关于光轴可移动；和

·一个或多个检测器（116,118），用于检测响应于带电粒子束激发样本而从样本发出的辐射；

所述浸没透镜具有可配置磁路；

其特征在于

所述装置具有至少第一配置（图1）和第二配置（图2），在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台（112）上的第二透镜极（120），所述第二透镜极与光轴（106）相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本（114）的第二载物台（130），所述第二载物台被装配以在第一透镜极（108）和第二透镜极（120）之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，

其结果是磁浸没透镜（107）的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。

2.权利要求1所述的可配置带电粒子装置，其中带电粒子源（104）是电子源；第二透镜极（120）具有中心孔（124）；并且在第二配置中，用于检测通过样本（114）的电子的检测器（126）被放置在孔下面，所述孔用于使通过样本的电子通过，粒子光学装置因而能够作为扫描透射电子显微镜操作。

3.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中用于检测通过样本（114）的电子的检测器（126）被安装在第二透镜极（120）上。

4.权利要求2或权利要求3所述的可配置带电粒子装置，其中透镜被安装在第二透镜极（120）和用于检测通过样本的电子的检测器（126）之间，其结果是在样本平面和检测器平面之间的放大率、更特别地角放大率被改变。

5.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第二配置中第二透镜极（120）可以关于第一透镜极（108）在三个正交方向上被平移。

6.权利要求5所述的可配置带电粒子装置，其中在第二配置中定义若干子配置，所述子配置在第一透镜极（108）到第二透镜极（120）的距离方面不同，在子配置方面的改变通过第一载物台（112）沿光轴（106）的移动实现。

7.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第一配置中，第二透镜极（120）被停放在样本室（106）中的固定位置，所述固定位置从光轴（106）被移开，其结果是第二透镜极当被停放在固定位置时不形成磁浸没透镜（107）的磁路的部分。

8.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中在第一配置中，第二透镜极（120）被安装在从光轴（106）被移开的第一载物台（112）的一部分上，以便第二透镜极不形成磁浸没透镜（107）的磁路的部分。

9.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有被编程以将透镜配置从第一配置改变到第二配置的控制器。

10.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置包括具有用于加工样本的离子源的离子柱、具有用于使样本成像的电子源的电子柱和操纵器，所述操纵器用于安置被附到所述操纵器的样本，所述电子柱装配有磁浸没透镜，所述离子柱产生离子束和所述电子柱产生电子束，在第一配置中所述离子束和所述电子束相互交叉。

11.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有用于从样本盒（144）向第一载物台（112）和/或第二载物台（130）装载样本的自动装载器（142）。

12.前述权利要求中任一项所述的可配置带电粒子装置，其中所述装置装配有用于从透镜极盒向第一载物台装载透镜极的自动装载器。