[发明专利]一种石英材料腐蚀液和腐蚀方法

权利要求书

1.一种石英材料腐蚀液，其特征在于：该腐蚀液包括氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水；所述腐蚀液中氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水的质量比为：10～19：35～50：4～7：24～51。

2.如权利要求1所述的腐蚀液，其特征在于：所述腐蚀液的pH小于4。

3.如权利要求1所述的腐蚀液，其特征在于：所述无机酸包括盐酸或硝酸。

4.如权利要求1所述的腐蚀液，其特征在于：所述阳离子表面活性剂包括十六烷基三甲基溴化铵、十六胺醋酸盐、氯化三甲基十二烷基铵。

5.一种石英材料腐蚀方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

1)按照氢氟酸、无机酸、阳离子表面活性剂和去离子水的质量比为：10～19：35～50：4～7：24～51配制腐蚀原液，并将腐蚀原液稀释为15～30％体积浓度的腐蚀液；

2)将待腐蚀的石英材料投入15～30％体积浓度的腐蚀液中，静置2分钟～5分钟，进行表面预蚀刻；

3)取出表面预蚀刻的石英材料，并清洗；

4)将步骤1）所述腐蚀原液加热至40～50℃，保温并静置；

5)将石英材料投入上述加热后的腐蚀原液中，进行腐蚀。

6.如权利要求5所述的腐蚀方法，其特征在于：步骤5）中，将石英材料装入夹具中进行腐蚀。

7.如权利要求5所述的腐蚀方法，其特征在于：步骤5）中，所述石英材料在腐蚀过程中与腐蚀原液相对运动，相对运动速率为5-30次/分钟。

8.如权利要求5所述的腐蚀方法，其特征在于：步骤5）中，腐蚀时间为30～60分钟。

9.如权利要求5所述的腐蚀方法，其特征在于：步骤5）中用去离子水清洗腐蚀后的石英材料并进行干燥。

10.如权利要求9所述的腐蚀方法，其特征在于：所述的石英材料的干燥包括烘干、甩干或热氮气吹干。