[发明专利]X射线分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及使用X射线对样品进行分析的X射线分析装置。特别是，本发明涉及具备可更换的部件的X射线分析装置。

背景技术

X射线分析装置通常具有可更换的部件。作为可更换的部件，例如有，X射线管、X射线检测器、X射线光学部件、配件（附属装置）等。作为X射线光学部件，例如有，狭缝（slit）、单色仪（monochromator）、梭拉狭缝（Soller slit）、PSC（Parallel Slit Collimator：平行狭缝准直仪）、滤光器、PSA（Parallel Slit Analyzer：平行狭缝分析器）等。另外，作为配件，例如有，充填有样品的样品座、放置样品座的样品板单元、样品转换器（样品更换装置）、其它的各种附属装置。

目前，已知的有以使用磁传感器识别作为可更换的部件的X射线管的种类的方式做成的X射线分析装置（例如，参照专利文献1）。另外，已知的有以使用光传感器、微动开关等识别作为可更换的部件的狭缝、单色仪、滤光器等的种类的方式做成的X射线分析装置（例如，参照专利文献2）。

现有技术文献

专利文献1：日本实开平2-069750号公报；

专利文献2：日本特开2008-057989号公报。

但是，在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中，感测用标识的数量被限制。例如，只能准备最大为5bit（32种）的ID（识别符号）。为此，存在对超过了限制数量的部件无法分配识别用的ID的问题。

另外，在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中，必须使作为检查对象的部件通过通信线路连接于电路基板，为此，部件的安装位置（即部件的位置）被限定在特定位置，并且不能追加安装位置。

另外，在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中，虽然能认识部件的种类，但不能认识部件的安装位置。另外，不能进行部件被安装在纵向还是被安装在横向这样的安装方向的认识。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而做成的发明，其目的在于，提供一种能增加可认识的部件的种类，并且能容易地追加认识安装于新安装位置的部件，也能认识部件的安装位置、安装方向的X射线分析装置。

本发明所涉及的第一X射线分析装置，当对样品照射了X射线时，通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线，并且具备可更换的部件，其特征在于，具有：标志，设置于所述可更换的部件中；摄影机，将所述可更换的部件和所述标志进行摄影；以及部件种类计算单元，基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像，通过计算特定所述可更换的部件的种类名称。部件种类计算单元，例如，能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。

根据本发明所涉及的第一X射线分析装置，由于不是使用通过通信线路传送信号的光传感器等来识别部件的种类，而是做成了通过将附加于部件、配件的标志，用摄影机摄影而得到的图像的解析来认识部件等的种类，所以，通过适当地决定标志，能增加能认识的部件的种类。

另外，由于不使用传感器、通信电缆，所以不光是由通信电缆规定的特别的位置，而且能容易追加地识别安装于新安装位置的部件。

另外，在现有的识别方法中需要光传感器、通信电缆，但由于在本实施方式中读取通过摄影机摄影的图像并将信息数据化，所以不需要传感器和从该传感器延伸的通信电缆。为此，能减少部件成本。

另外，在现有的X射线分析装置中，为了确认系统的运转状况，在开闭门的适当地方设置了由含铅玻璃构成的视觉确认用的窗，但在本发明的X射线分析装置中，由于通过摄影机系统被摄影，所以变为不需要这样的窗，降低成本是可能的。

本发明所涉及的第二X射线分析装置，当对样品照射了X射线时，通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线，并且具备可更换的部件，其特征在于，具有：标志，设置于所述可更换的部件中；摄影机，将所述可更换的部件和所述标志进行摄影；以及部件位置计算单元，基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像，通过计算，特定应安装所述可更换的部件的位置。部件位置计算单元，例如，能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。

根据本发明所涉及的第二X射线分析装置，通过使应安装可更换的部件的位置的信息包含在标志中，也能认识可更换的部件，例如光学部件、配件的位置。

另外，在现有的X射线分析装置中，为了确认系统的运转状况，在开闭门的适当地方设置了由含铅玻璃构成的视觉确认用的窗，但在本发明的X射线分析装置中，由于通过摄影机系统被摄影，所以变为不需要这样的窗，降低成本是可能的。