[发明专利]闸阀及腔室

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀及具备该闸阀的腔室，尤其涉及一种用于减少闸阀进行动作时产生的微粒和放出气体的改进的结构。

背景技术

近年来，从所谓的半导体处理规则的细微化、有机EL显示器等的高精度化的现实情况出发，在其制造装置中减少微粒和放出气体的要求变得越来越严格。而且，伴随着这种情况，在制造装置中使用的闸阀也被要求低微粒化和低放出气体化。

以往，作为在这种制造装置中使用的闸阀的示例，已知有在下述的专利文献1中公开的闸阀。该闸阀形成有在阀限位器的端部呈倒U字状的弯曲部分，在阀座壁形成有嵌合在该弯曲部分的前端中的凹部。由此，当将阀板按压在阀座上时，倒U字状的弯曲部分被收容在凹部中，阀限位器能够阻止向离开阀座的方向移动。

在这样的闸阀中，例如在设置在阀板上的密封件和阀座的接触部分、或在倒U字状的弯曲部分和凹部的接触部分，通过接触时的摩擦会产生微粒，这成为产生放出气体的主要原因。特别是，在专利文献1的闸阀中，由于作为将阀板压在阀座上的机构使用有销槽和球体、或连杆等，因此密封件接合在阀座上时的轨道为圆形轨道，且与其轨道相应地密封件与阀座剐蹭而易于产生微粒。并且，即使在倒U字状的弯曲部分和凹部的接触部分中，通过相同的轨道，金属之间也会摩擦而产生微粒。并且，在上述机构和滚珠轴承或滚轴、或者连杆机构等中使用有润滑用的润滑脂，也成为产生放出气体的原因。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3388439号公报

发明内容

技术问题

本发明正是为了解决以上问题所做出的，其目的在于提供一种能够大幅度降低阀进行动作时产生的微粒和放出的气体的闸阀和具备该闸阀的腔室。

技术方案

为了达到上述目的，根据本发明的闸阀，其特征在于，在通过在面对面的密封板和背板之间内置的直动式驱动器使密封单元进行动作而对开口部进行开闭的闸阀中，当受到所述密封板被按压到所述开口部的密封面上时的反作用力，使得设置在所述背板的上部的缓冲部件与设置在腔室中的上部止动件接合时，或者，使得所述背板的上部与在设置于腔室中的上部止动件中设置的缓冲部件接合时，与所述背板连接的阀杆弹性形变为弓状。

并且，在由所述结构构成的闸阀中，也可以在所述背板的下部设置有向所述开口部方向延伸的下部止动件，通过在所述密封面的密封法兰下部形成的凸部通过缓冲部件嵌合在所述下部止动件中形成的凹部或孔中，或者，通过所述下部止动件中形成的凸部通过缓冲部件嵌合在所述密封面的密封法兰下部形成的凹部或孔中，从而承受所述密封板被按压到所述密封面上时的反作用力。

并且，在由所述结构构成的闸阀中，也可以将所述下部止动件设置为：固定在所述阀杆上且能够从所述背板分离。

并且，在由所述结构构成的闸阀中，也可以是所述密封单元包括：开闭气缸，具备通过空气压的供给和排放伸缩的活塞；背板，固定有所述开闭气缸且具备传递打开动作压力和关闭动作压力的供给排出通道；密封板，与所述活塞的杆部结合；并且具备波纹管保护结构：在所述开闭气缸上设置止逆阀，当在覆盖所述杆部的波纹管中施加的内压超过基准压力时，通过所述止逆阀将该内压排出到所述密封单元的外部。

并且，在由所述结构构成的闸阀中，也可以还包含通过所述阀杆将所述密封单元移动到所述密封面的引导装置，所述引导装置通过同一支柱构成引导所述阀杆的升降动作的引导机构以及支撑所述引导机构的支撑机构，并且该支柱为圆柱形状。

并且，根据本发明的腔室，其特征在于是安装了以上述任意结构构成的闸阀的腔室，在该腔室中设置有用于将所述闸阀中的密封单元取出的维修孔。

并且，在由所述结构构成的腔室中，可以是堵塞所述维修孔的孔盖兼具有与所述背板接合的上部止动件的功能。

发明效果

根据本发明，通过直动式驱动器驱动密封板，当将密封板按压在密封面上时，背板的上部和上部止动件通过缓冲部件而接合，由此减轻表面压力和接合时的冲击力。并且，当密封时的反作用力使背板向非密封方向后退时，通过阀杆弹性形变为弓状，其速度降低，因此缓和接合时的冲击力。因此，能够抑制背板和上部止动件的接合部分的损伤，并能够防止微粒及放出气体的产生。并且，由于通过组合直动式驱动器和缓冲部件使密封件不摩擦密封面，因此能够防止摩擦引起的微粒和放出气体的产生。

附图说明

图1是表示本发明的闸阀的一个示例的截面图。