[发明专利]靶材组件的制作方法和靶材组件

权利要求书

1.一种靶材组件的制作方法，其特征在于，包括：

提供第一靶材组件坯料，所述第一靶材组件坯料包括背板和固定在背板上的靶材；

对所述第一靶材组件坯料进行第一机械加工，形成第二靶材组件坯料，所述第二靶材组件坯料的背板表面光滑；

对所述第二靶材组件坯料的背板表面进行氧化处理，在所述背板的表面形成氧化膜；

对所述氧化处理后的第二靶材组件坯料进行第一清洗，形成靶材组件。

2.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述背板的材料为铝合金。

3.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，形成第二靶材组件坯料的步骤之后，对所述第二靶材组件坯料的背板表面进行氧化处理的步骤之前，还包括下列步骤：

对所述第二靶材组件坯料的背板表面进行脱脂处理；

对所述脱脂处理后的所述第二靶材组件坯料进行第二清洗。

4.如权利要求3所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述对第二靶材组件坯料的背板表面进行脱脂处理的步骤前，还包括步骤:

在所述第二靶材组件坯料的表面形成保护层，所述保护层暴露所述背板表面，所述保护层防止背板表面以外的表面被脱脂处理和被氧化处理；

形成靶材组件后，还包括步骤：去除所述保护层。

5.如权利要求4所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述脱脂处理的工艺条件为：将形成有保护层的第二靶材组件坯料放入浓度为40～60g/L的氢氧化钠溶液中进行浸泡，所述浸泡时间为30～120s。

6.如权利要求5所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，对所述第二清洗后的所述第二靶材组件坯料的背板进行氧化处理包括：

将第二清洗后的形成有保护层的第二靶材组件坯料放入电解槽中，所述电解槽中含有含量为190～210g/L的H₂SO₄；设置所述电解槽的电流密度为2.0～2.5A/dm²，设置所述电解槽的温度为-2～2℃，所述电解槽的电解时间为20～30min。

7.如权利要求4所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述保护层为胶布、胶带。

8.如权利要求4所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，形成靶材组件后，所述靶材组件表面还具有去除所述保护层时形成的划痕，还包括下列步骤：

对所述靶材组件进行机械抛光，去除所述划痕；

对所述机械抛光的靶材组件进行第三清洗。

9.如权利要求1所述的靶材组件的制作方法，其特征在于，所述第一靶材组件坯料的形成方法包括：

提供靶材坯料与背板坯料；

对所述靶材坯料进行机械加工形成靶材；

对所述背板坯料进行机械加工形成背板；

对所述靶材与背板进行焊接形成第一靶材组件坯料。