[发明专利]一种显微装置及成像方法

权利要求书

1.一种显微装置，包括：

位移装置，用于使待测样品与成像装置之间产生相对位移，所述位移位于一个平面内；

成像装置，用于获取所述待测样品在相对于所述成像装置的不同位置处的多幅图像，其中所述多幅图像具有第一分辨率;

位置感测装置，用于检测所述待测样品与所述成像装置之间的相对位移；

图像处理装置，用于接收所述具有第一分辨率的多幅图像和所述位置感测装置检测到的所述位移，并根据检测到的所述位移将所述多幅具有第一分辨率的图像叠加，合成出具有高于第一分辨率的第二分辨率的图像。

2.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述位移装置用于使所述待测样品发生位移。

3.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述位移装置用于使所述成像装置发生位移。

4.根据权利要求1所述的显微装置，还包括用于产生照射所述待测样品的平行光的光源。

5.根据权利要求1所述的显微装置，还包括用于发出照射所述待测样品的光的脉冲式光源。

6.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述平面为水平面。

7.根据权利要求6所述的显微装置，其中所述位移装置包括限位装置。

8.根据权利要求1所述的显微装置，其中每间隔一采样间隔时间，所述成像装置获取一幅所述待测样品的图像。

9.根据权利要求8所述的显微装置，其中所述采样间隔时间被选择为使间隔一个所述采样间隔时间的相邻的所述具有第一分辨率的图像之间的相对位移量等于所述成像装置的一个像素的尺寸的1/10-1/3。

10.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述位移装置的位移幅度使得所述多幅具有第一分辨率的图像之间的最大位移量大于所述成像装置的一个像素的尺寸。

11.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述位移装置为振动装置。

12.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述显微装置为透射式或反射式显微镜，或者投影式无透镜显微装置。

13.根据权利要求1所述的显微装置，其中所述位置感测装置包括设置在待测样品上的参考标记，所述参考标记在所述成像装置上所成的像覆盖所述成像装置的多个像素，根据所述多个像素中的每个像素的灰度值之间的相对关系确定参考标记相对于所述成像装置的位置。

14.一种成像方法，包括：

利用成像装置获取待测样品的并具有第一分辨率的多幅图像；

使所述待测样品与所述成像装置形成相对位移，所述位移位于一个平面内；

检测所述待测样品与所述成像装置之间的相对位移量；

接收多幅所述具有第一分辨率的图像和所检测到的位移，并根据所检测到的位移将所述具有第一分辨率的多幅图像叠加，合成出具有高于第一分辨率的第二分辨率的图像。