[发明专利]一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器有效
| 申请号： | 201310461445.5 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103487474A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 任青颖;王立峰;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211103 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 灵敏度 快速 响应 mems 电容 湿度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，该传感器包括衬底（1），覆盖有感湿介质（2）的叉指正电极（1-2）；其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，感湿介质（2）覆盖在叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）的表面，叉指负电极（1-3）与衬底（1）之间设有空腔（1-5），感湿介质（2）与叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）之间的空气层（3）构成检测电容的感湿结构。
2.根据权利要求1所述的一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，所述感湿层（2）为多孔硅层。
3.根据权利要求1所述的一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，所述叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）为低阻硅。
4.根据权利要求1所述的一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，所述叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）为体硅工艺加工的叉指结构。
5.根据权利要求1所述的一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，所述叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）的叉指结构与衬底（1）之间是空气层。
6.根据权利要求1所述的一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，所述衬底（1）为玻璃。
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