[发明专利]用于自动化物料传输系统的输送车

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送设备技术领域，尤其涉及一种硅片盒自动搬送系统中的输送车。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有技术中，用于300mm硅片制造的一种主流AMHS是采用悬吊式搬送系统，其包括多个用于存放半导体硅片的硅片存储设备（STOCKER）和一个或多个空中升降机输送车（Overhead Hoist Transport，简称OHT），用于在硅片制造区域的各工位之间传送硅片。存放在STOCKER中的硅片被装入盒式容器，例如前端开口片盒（Front Opening Unified Pod，简称FOUP），随后它们被传递到在悬垂轨道上行进的OHT输送车。

OHT输送车一般是通过非接触供电方式供电，其工作原理就是在轨道的一侧铺设特殊的线缆，输送车通过切割这个线缆产生的磁力线获得供电。一个AMHS系统中所有输送车的最高行驶速度一般根据该AMHS系统的实际情况进行预先设定，输送车启动时的加速度和制动时的减速度也基本由该AMHS系统的情况而决定，基本也是预设额定的。

然而，一个AMHS系统内需要搬送的硅片盒重量会有所不同，有时需要将多硅片或满硅片的硅片盒I从A机台搬送至B机台，有时也需要将少硅片或无硅片的硅片盒II从C机台搬送至D机台。若以较快的速度、加速度或减速度搬送硅片盒I，由于硅片盒I重量较大，对系统的负重要求较大，搬送过程中惯性也较大，可能存在安全性隐患；若以较慢的速度、加速度或减速度搬送硅片盒II，由于硅片盒II重量较小，一定程度上又显得不够效率，浪费了资源。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车。

为实现上述目的，本发明提供一种用于自动化物料传输系统的输送车，其包括：

车身，悬吊在AMHS系统的轨道上并行驶；

升降机构，固定于输送车的车身并向下可伸缩得延伸；

取放机构，设于升降机构下方末端，用于依靠升降机构的高度调节来取放硅片盒；

重量传感器，设于升降机构上，用于监测升降机构上承载取放机构和硅片盒的重量；

控制单元，设于车身内并与重量传感器、升降机构、取放机构信号连接，控制单元还与输送车的驱动单元、制动单元信号连接，用以根据重量传感器得到的重量信息对驱动单元和制动单元发出指令，改变输送车的行驶状态。

进一步地，该升降机构包括至少一个导轮和通过导轮上下伸缩的绳索，该重量传感器设于该绳索上。

进一步地，该控制单元与数据存储单元相连，该数据存储单元预存有重量与速度关系的数据信息。

进一步地，该控制单元还与AMHS系统的总控单元信号连接。

进一步地，该驱动单元、制动单元分别与输送车车轮相连接。

本发明采用以上技术方案，提供一种新的用于自动化物料传输系统的输送车，通过在升降机构上设置重量传感器，可以实时监测该输送车运载硅片盒的重量，并将该重量信息发送至控制单元，控制单元根据当前重量获得对应的速度，发送指令至输送车的驱动单元或制动单元，输送车即按照新的速度、加速度或减速度行驶。本发明解决了现有技术中不同负载的情况下输送车行驶状态同一，而造成的安全性隐患和资源的浪费，可以有效提高AMHS系统整体的搬送效率，也能提升系统的稳定性和安全性。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1是本发明第一实施例的输送车方框示意图；

图2是本发明第二实施例的输送车方框示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图1，本实施例的输送车用于AMHS悬吊式输送系统，其包括：

车身10，悬吊在AMHS系统的轨道上并行使，搬送硅片盒；