[发明专利]太阳能电池的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种太阳能电池的制造方法，特别是关于太阳能电池的电极的制造方法。

背景技术

一般的太阳能电池包含半导体基板、抗反射层及指状电极图案。其中抗反射层是位于半导体基板上，且指状电极图案是位于抗反射层上。

在一般太阳能电池的制造方法中，首先于半导体基板的抗反射层上，利用金属电极材料形成指状电极图案。接着，烧结指状电极图案的金属电极材料，使金属电极材料固化贴附于抗反射层上。

然而，在烧结步骤中，金属电极材料的表面会氧化形成不必要的氧化层。由于此氧化层具有较高的片电阻值(sheet resistance，Rs)，使得太阳能电池的电性传导不佳，造成电能的损耗。因此，目前亟需一种新的太阳能电池的制造方法，以解决传统太阳能电池的制造方法所产生的缺失。

发明内容

本发明是提供一种太阳能电池的制造方法，用以解决传统太阳能电池的制造方法的缺失，且有效降低太阳能电池的片电阻值。

本发明的一方面在于提供一种太阳能电池的制造方法。此制造方法包含提供半导体基板，其具有迎光面及相对于迎光面的背光面，其中迎光面上具有抗反射层。形成金属电极材料于抗反射层上，以形成第一电极图案。烧结第一电极图案。移除于烧结第一电极图案中于金属电极材料的表面形成的氧化层。形成电镀层于经移除氧化层的金属电极材料上，以形成太阳能电池的正面电极。

根据本发明的一实施例，上述制造方法还包含形成第二电极图案于半导体基板的背光面上，以及烧结第二电极图案，形成太阳能电池的背面电极。

根据本发明的一实施例，上述形成金属电极材料于抗反射层是通过网印法。

根据本发明的一实施例，上述第一电极图案包含多个汇流电极及多个指状电极。

根据本发明的一实施例，上述第一电极图案的材料是选自由钛、钴、钨、铂、铪、钽、钼、铬、钯、金、银、铝及其合金所组成的群组。

根据本发明的一实施例，上述第一电极图案的材料为一银胶。

根据本发明的一实施例，上述抗反射层的材料为氮化硅(SiN_x)。

根据本发明的一实施例，上述氧化层为氧化银。

根据本发明的一实施例，上述移除氧化层的方法包含利用一逆电流制程溶解氧化层，以暴露出未氧化的金属电极材料。

根据本发明的一实施例，上述制造方法还包含利用逆电流制程移除在第一电极图案周围的至少一残余的金属电极材料。

根据本发明的一实施例，上述电镀层的材料是与第一电极图案相同。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例所绘示的太阳能电池的制造流程图；

图2A～2E是根据本发明的一实施例所绘示的太阳能电池的制造剖面图；

图3是根据本发明的一实施例所绘示的电镀步骤示意图；

图4是根据本发明的一实施例所绘示的逆电流步骤示意图；

图5A为一般电极图案的显微剖面影像，而图5B为本发明的一实施例的电极图案的显微剖面影像；以及

图6A为一般电极图案的显微俯视影像，而图6B为本发明的一实施例的电极图案的显微俯视影像。

具体实施方式

接着以实施例并配合附图以详细说明本发明，在附图或描述中，相似或相同的部分是使用相同的符号或编号。在附图中，实施例的形状或厚度可能扩大，以简化或方便标示，而附图中元件的部分将以文字描述。可了解的是，未绘示或未描述的元件可为熟悉该项技艺者所知的各种样式。

本文所使用的术语仅是用于描述特定实施例的目的且不意欲限制本发明。如本文所使用，单数形式“一”(a、an)及“该”(the)意欲亦包括复数形式，除非本文另有清楚地指示。应进一步了解，当在本说明书中使用时，术语“包含”(comprises及/或comprising)指定存在所述的特征、整数、步骤、运作、元件及/或组份，但并不排除存在或添加一或多个其它特征、整数、步骤、运作、元件、组份及/或其群组。本文参照为本发明的理想化实施例(及中间结构)的示意性说明的横截面说明来描述本发明的实施例。如此，吾人将预期偏离这些说明的形状的由于(例如)制造技术及/或容差的改变。因此，不应将本发明的实施例理解为限于本文所说明的特定区域形状，而将包括起因于(例如)制造的形状改变，且这些图中所说明的区域本质上为示意性的，且其形状不意欲说明设备的区域的实际形状且不意欲限制本发明的范畴。