[发明专利]一种管内化学气相沉积制备薄膜的方法及装置

权利要求书

1.一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，包括反应室（1），所述反应室（1）上开有供管状工件（3）穿过的进料口（1-1）和出料口（1-2），所述进料口（1-1）和出料口（1-2）分别布设在反应室（1）两侧，所述反应室（1）上且位于出料口（1-2）上方设置有保护气入口（6），所述反应室（1）上且位于进料口（1-1）下方设置有保护气出口（7），所述反应室（1）内部设置有用于对位于反应室（1）内的管状工件（3）进行加热的加热单元（2）。

2.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，还包括用于带动管状工件（3）水平运行的传送器（8）。

3.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述管状工件（3）穿出出料口（1-2）的一端设置有用于对管状工件（3）内部抽真空的真空泵（5），管状工件（3）的另一端设置有用于测量管状工件（3）内压力的压力表（4）。

4.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述反应室（1）外部且位于出料口（1-2）处设置有用于对管状工件（3）进行冷却的冷却装置（9）。

5.根据权利要求4所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述冷却装置（9）为缠绕于管状工件（3）外壁的冷却盘管。

6.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述加热单元（2）为设置于反应室（1）内壁的加热棒。

7.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述加热单元（2）包括与位于反应室（1）内的管状工件（3）两端接触连接且对位于反应室（1）内的管状工件（3）通电加热的电极对（2-1）和与电极对（2-1）相连通的电源（2-2）。

8.根据权利要求1所述的一种管内化学气相沉积制备薄膜的装置，其特征在于，所述管状工件（3）的数量为多个。

9.一种利用如权利要求1所述装置进行管内化学气相沉积制备薄膜的方法，其特征在于，该方法为：将管状工件（3）穿过反应室（1），通过保护气入口（6）向反应室（1）内通入保护气体；然后开启加热单元（2）对位于反应室（1）内的管状工件（3）进行加热，待温度达到沉积温度，向管状工件（3）内通入反应气体进行化学气相沉积，冷却后得到附着于管状工件（3）内壁的化学气相沉积薄膜。