[发明专利]一种真空环境下基于溶液的无机梯度薄膜制备方法

权利要求书

1. 一种真空环境下基于溶液的无机梯度薄膜制备方法，其特征在于具体步骤为：

（1）配制所需的各种前驱体溶液或溶胶，这些溶液或溶胶作为喷涂液；将这些需要改变浓度的各种前驱体溶液或溶胶，放置于不同的容器中；

（2）制备在真空室中进行，将衬底放置于真空室中的衬底架上，衬底架和喷头都设有机械运动机构，以使喷雾束流在衬底上均匀扫描；

（3）关闭真空室，抽真空，以获得纯净空间；达到所需真空度后，打开衬底加热装置电源；

（4）到达所需衬底温度后，开启衬底架和喷头运动机构；

（5）开启冷阱；将制备无机薄膜所需的前驱体溶液或溶胶混合，通过喷头雾化，喷射到加热衬底上，发生化学反应，开始生长无机薄膜，溶剂在真空环境和衬底高温下，迅速挥发，和反应后生成的气体一起被冷阱捕获；

（6）喷雾过程中，逐渐改变某一种前驱体溶液或溶胶在混合前驱体溶液或溶胶中的比例，该比例是单调上升或下降的；直至薄膜生长到需要的厚度后，停止喷雾。

2. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于对喷雾结束后的衬底进行热处理。

3. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述梯度薄膜材料是无机化合物、有机材料、聚合物或无机-有机复合材料。

4. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于喷雾方式是高压无气雾化、气体雾化、超声雾化或静电雾化。

5. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述衬底附加有加热系统，用于对产品制备过程中和制备后进行热处理。

6. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于喷雾过程中改变喷涂液成分比例的方式为，用多个喷头分别控制不同喷涂液，或者不同喷涂液混合后从一个喷头喷出，喷雾的同时改变不同喷涂液的混合比例。