[发明专利]一种金属酸洗缓蚀剂、其制备方法及应用

权利要求书

1.一种金属酸洗缓蚀剂，其特征在于，其结构式如下：

2.根据权利要求1所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

向反应器中加入Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH、镍配合物Ni(dppe)Cl₂、四氢呋喃、三乙胺，在室温下搅拌反应0.5-2h后，旋转蒸发出反应溶剂四氢呋喃和三乙胺，然后向反应器中加入水和二氯甲烷，再进行分液，取有机相，有机相依次经水洗、无水硫酸镁干燥后，旋转蒸发出溶剂二氯甲烷，即得酸洗缓蚀剂；

其中，以1mol的Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH计，镍配合物Ni(dppe)Cl₂为0.2-2mol，四氢呋喃的体积为2-10L，三乙胺的体积为0.1-0.5L，二氯甲烷的体积为2-10L。

3.根据权利要求2所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，以1mol的Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH计，镍配合物Ni(dppe)Cl₂为0.5mol，四氢呋喃的体积为3-4L，三乙胺的体积为0.14-0.2L，二氯甲烷的体积为3-5L。

4.根据权利要求2所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，反应器中加入Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH、镍配合物Ni(dppe)Cl₂、四氢呋喃、三乙胺，在室温下搅拌反应1-1.2h后，旋转蒸发出反应溶剂四氢呋喃和三乙胺，然后向反应器中加入水和二氯甲烷，再进行分液，取有机相，有机相依次经水洗、无水硫酸镁干燥后，旋转蒸发出溶剂二氯甲烷，即得酸洗缓蚀剂。

5.根据权利要求2-4任一项所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH的制备方法如下：向反应釜中加入L-半胱氨酸甲酯盐酸盐、二氯甲烷、三乙胺，室温下搅拌5-30min后，滴加入二碳酸二叔丁酯，滴加完后继续搅拌20-60min，然后再向其中加入水，得第二有机相，第二有机相依次经水洗、无水硫酸镁干燥后，旋转蒸发出溶剂二氯甲烷，即得Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH；

其中，以1mol L-半胱氨酸甲酯盐酸盐计，二氯甲烷的体积为1-5L，三乙胺的体积为0.1-0.2L，二碳酸二叔丁酯为0.5-2mol；滴加入二碳酸二叔丁酯，滴加完后继续搅拌20-60min，然后再向其中加入水，加入水的体积为1-10L。

6.根据权利要求5所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH的制备方法如下：向反应釜中加入L-半胱氨酸甲酯盐酸盐、二氯甲烷、三乙胺，室温下搅拌10-15min后，滴加入二碳酸二叔丁酯，滴加完后继续搅拌30-40min，然后再向其中加入水，得第二有机相，第二有机相依次经水洗、无水硫酸镁干燥后，旋转蒸发出溶剂二氯甲烷，即得Me₃COOCNHCH(COOMe)CH₂SH；

其中，以1molL-半胱氨酸甲酯盐酸盐计，二氯甲烷的体积为2-3L，三乙胺的体积为0.1-0.15L，二碳酸二叔丁酯为0.8-1mol；滴加入二碳酸二叔丁酯，滴加完后继续搅拌30-40min，然后再向其中加入水，加入水的体积为2-2.5L。

7.根据权利要求1所述酸洗缓蚀剂的应用，其特征在于，向无机酸中加入酸洗缓蚀剂，得酸洗溶液，所述酸洗溶液中，酸洗缓蚀剂的浓度为20-160mg/L。

8.根据权利要求7所述酸洗缓蚀剂的应用，其特征在于，所述酸洗溶液中，酸洗缓蚀剂的浓度为40-140mg/L。

9.根据权利要求7所述酸洗缓蚀剂的应用，其特征在于，所述酸洗溶液中，酸洗缓蚀剂的浓度为80-100mg/L。

10.根据权利要求7所述酸洗缓蚀剂的应用，其特征在于，所述无机酸为盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、碳酸中的一种或多种。