[发明专利]立式液相外延炉

权利要求书

1.一种立式液相外延炉，其特征在于它主要包括机架、升降机构、工作杆、取放料腔、过渡腔、工艺腔；其中升降机构固定在机架上，升降机构通过轴承单元与工作杆相连；取放料腔、过渡腔、工艺腔通过真空阀门自上至下顺次密封连接，形成密闭腔体；工作杆密封性通入取放料腔、过渡腔、工艺腔内；取放料腔上设置取放料密封门；过渡腔上设置真空抽口和充气口。

2.根据权利要求1所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述取放料腔上还设置一个充气口。

3.根据权利要求1或2所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述双腔室真空制膜设备还包括加热炉体、坩埚及液相材料，其中加热炉体固定在机架上，其位于工艺腔的正下方；坩埚安装于工艺腔内，液相材料装于坩埚内。

4.根据权利要求3所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述取放料腔、过渡腔、工艺腔相互之间及其与真空阀门、取放料密封门、各充气口和真空抽口之间均设有密封及水冷防护。

5.根据权利要求4所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述升降机构包括升降驱动电机、减速器、驱动丝杠、丝杠母、滑块、导轨、安装平板、刚性支撑件；其中固定在机架上的驱动电机与减速器连接，减速器与驱动丝杠连接；驱动丝杠与丝杠母配合，丝杠母及滑块均固定在安装平板上；滑块同时与导轨滑动配合，导轨固定在机架上，导轨方向与驱动丝杠平行；刚性支撑件一端固定在安装平板上，另一端通过轴承组成与工作杆相连。

6.根据权利要求5所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述工作杆旋转机构包括旋转电机、减速器、轴承单元、齿形带、齿形带轮；其中轴承单元包括轴承盒与轴承，轴承位于轴承盒内部与之固定连接；旋转电机与轴承盒均固定在刚性支撑件上；旋转电机与减速器连接，减速器与工作杆通过齿形带相连；齿形带轮与齿形带配合；轴承与工作杆配合。

7.根据权利要求6所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述工作杆为底端密闭的空心杆，其内部安装有热电偶。

8.根据权利要求7所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述双腔室真空制膜设备还包括一个转换滑环，所述转换滑环固定在工作杆顶部，并与工作杆内部的热电偶通过导线连接。

9.根据权利要求8所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述加热炉体可单段或多段控温。

10.根据权利要求9所述双腔室真空制膜设备，其特征在于所述加热炉体的顶端炉口处还设置保温层。